[实用新型]冷媒回收和利用系统

说明书

本实用新型涉及冷媒回收领域，公开了一种冷媒回收和利用系统，包括气体储罐、封闭容腔和设置在封闭容腔内的生产装置，封闭容腔内能够填充用于冷却生产装置的液态冷媒，气体储罐通过第一管道与封闭容腔相连以用于收集由液态冷媒汽化形成的汽化物，气体储罐通过第二管道与生产装置相连以用于将收集的汽化物充入生产装置而将生产装置内的物料压出。本实用新型提供的冷媒回收和利用系统，能够将液态冷媒汽化形成的汽化物收集到气体储罐内，避免了将汽化物排入大气时对环境产生影响和造成资源浪费的问题，并且转移生产装置内的物料时无需额外引入汽化物，可利用气体储罐内收集的汽化物来将生产装置内的物料压出，实现了对汽化物的回收和利用。

技术领域

本实用新型涉及冷媒回收领域，具体地涉及一种冷媒回收和利用系统。

背景技术

MO源(即高纯金属有机化合物)是采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术进行外延生长时的支撑材料，是发展光电子产业的关键材料之一，也是生产高亮度、超高亮度发光材料及大规模集成电路的必备原料。MO源需要达到6N(99.9999％)以上的产品纯度才合格，因此在生产过程中需要经过粗分离纯化、细分离纯化、超细分离纯化的生产过程。在MO源分离纯化使用的装置运行过程中会产生热量，需要大量的液氮(液氮储存温度--196℃)进行冷却，每运行完一个分离纯化过程需要进行对装置升温，以转移产品进行下一过程分离纯化，这就需要使液氮快速汽化，以对装置升温，并且分离纯化的产物需使用99.95％纯度的氮气保护进行隔离输送。

现有技术中用于分离纯化的生产装置一般设置在顶部敞开的低温真空贮槽内，加入贮槽内的液氮(即液态冷媒)吸收生产装置的热量汽化后的氮气(即汽化物)直接排入大气，并且转移生产装置内的物料时需要额外引入氮气来隔离输送，由液氮汽化形成的氮气没有进行回收和利用，造成资源浪费，不利于环保节能，导致生产成本较高。

因此，存在设计一种能够回收和利用液态冷媒汽化后的汽化物的冷媒回收和利用系统的需要。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的液态冷媒汽化后的汽化物没有进行回收和利用的问题，提供一种冷媒回收和利用系统，该冷媒回收和利用系统能够回收和利用液态冷媒汽化后的汽化物。

为了实现上述目的，本实用新型一方面提供一种冷媒回收和利用系统，所述冷媒回收和利用系统包括气体储罐、封闭容腔和设置在所述封闭容腔内的生产装置，所述封闭容腔内能够填充用于冷却所述生产装置的液态冷媒，所述气体储罐通过第一管道与所述封闭容腔相连以用于收集由所述液态冷媒汽化形成的汽化物，所述气体储罐通过第二管道与所述生产装置相连以用于将收集的所述汽化物充入所述生产装置而将所述生产装置内的物料压出。

在上述技术方案中，液态冷媒汽化形成的汽化物能够收集到气体储罐内，避免了将汽化物排入大气时对环境产生影响和造成资源浪费的问题，并且转移生产装置内的物料时无需额外引入汽化物，可利用气体储罐内收集的汽化物来将生产装置内的物料压出，实现了对液态冷媒汽化形成的汽化物的回收和利用，一定程度上能够降低成本。

优选地，所述第一管道上设置有止回阀和/或第一阀门，所述冷媒回收和利用系统包括与所述封闭容腔连接以用于检测所述封闭容腔内的压力的第一压力传感器以及与所述第一压力传感器、所述止回阀和/或所述第一阀门相连的控制单元，所述控制单元设置为能够根据所述第一压力传感器检测的所述封闭容腔内的压力控制所述止回阀和/或所述第一阀门。

优选地，沿所述汽化物在所述第一管道内的流动方向在所述第一管道上依次设置有汽化器和压缩机；和/或，所述第二管道上设置有第二阀门和/或第一流量调节阀。

优选地，所述冷媒回收和利用系统包括与所述气体储罐相连以用于检测气体储罐内的所述汽化物纯度的纯度检测装置。