[实用新型]物料回收装置有效
申请号: | 201820796737.2 | 申请日: | 2018-05-25 |
公开(公告)号: | CN208562518U | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 江建峰;蓝承发;邱曾烨;黄建;徐洪林 | 申请(专利权)人: | 江西佳因光电材料有限公司 |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 蒋爱花;王丽娜 |
地址: | 330013 江西省南*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 物料回收装置 产品冷却 存储装置 储液罐 本实用新型 惰性气体 液体出口 化工生产领域 操作过程 惰性环境 加热单元 排出液体 气体进口 气体冷却 物料回收 物料加热 系统结构 回收 引入 加热 倾倒 溶解 进口 出口 保证 | ||
本实用新型涉及化工生产领域,公开了一种物料回收装置。所述物料回收装置,包括:灌装有用于溶解物料的液体的储液罐(1)、置于惰性环境中用于存放物料的容器(D)、用于将容器内的物料加热成气体的加热单元(3)、以及用于接收加热后形成的气体并能够将气体冷却成固体的产品冷却存储装置;储液罐上设有用于引入惰性气体的气体进口和用于排出液体的液体出口,产品冷却存储装置具有与储液罐的液体出口相连的入口以及用于连接接收装置的出口,产品冷却存储装置上设有用于引入惰性气体的进口。本实用新型通过系统结构对物料进行回收使用,能够完全将物料回收干净,避免使用过程中需手动倾倒造成物料浪费,回收效率高、时间短,保证了操作过程中的安全性。
技术领域
本实用新型属于化工生产领域,具体地涉及一种物料回收装置。
背景技术
高纯金属有机化合物(MO源),是采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术进行外延生长时的支撑材料,如GaAs、GaN、InP、AlGaAs等化合物半导体超薄型膜材料,可用来生产LED外延片、HEMT器件、半导体激光器、太阳能电池等;是发展光电子产业的关键材料之一,也是生产高亮度、超高亮度发光材料及大规模集成电路的必备原料。
高纯金属有机化合物是具有非常活泼的化学性质的结晶固体,对空气和水极为敏感,在空气中会瞬间自燃,遇水则发生猛烈爆炸。因此在运输和使用过程中通常在隔氧隔水的特殊钢瓶中保存。MO源是昂贵的半导体化学品材料,由于在钢瓶中固态储存,使用过程中无法充分利用,导致存在残留造成浪费。因此,对钢瓶中残余的MO源进行回收利用,对于降低企业生产成本,增加企业利润具有重大意义。
现有的钢瓶中残留的MO源回收存在包含两种情况:
1、针对有插底管的储存钢瓶:先将钢瓶上的两个产品出口管道中的空气用惰性气体氮气置换,然后将乙醚通过管道压入钢瓶中,使其与MO源相溶成液态,然后通过氮气再压出到合成反应釜中,这个过程需要耗时一个小时,过程非常漫长,且是在大气环境中,操作不当会产生一定的危险。
2、针对无插底管的储存钢瓶:在手套箱内打开钢瓶加料口通过漏斗手动灌装乙醚后,使乙醚和MO源相溶成液态后手动倒入中转罐,手动灌装和倒出易造成乙醚浪费,且乙醚易挥发、与三甲基铟形成有机溶剂后容易造成手套箱内的氮气,氧气,水分传感器探头损坏,也易使手套箱的皮质手套损坏,造成泄露。
因此,需要设计一种置换时间短、效率高、操作安全且不会造成乙醚浪费的物料回收装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的置换时间长、效率低、操作存在危险的问题,提供一种物料回收装置,该装置具有置换效率高、操作安全的优点。
为了实现上述目的,本实用新型提供一种物料回收装置,包括:
置于惰性环境中用于存放所述物料的容器、用于将所述容器内的物料加热成气体的加热单元、以及用于接收加热后形成的所述气体并能够将所述气体冷却成液体的产品冷却存储装置;
还包括用于灌装溶解所述物料的液体的储液罐,其中,所述储液罐上设有用于引入惰性气体的气体进口和用于排出液体的液体出口,所述产品冷却存储装置具有与所述储液罐的所述液体出口相连的入口以及用于连接接收装置的出口,所述产品冷却存储装置上设有用于引入惰性气体的进口。
优选地,所述产品冷却存储装置包括产品储罐以及用于容纳所述产品储罐以对所述产品储罐进行冷却的冷却罐,所述储液罐的所述气体进口连接有第一管道,所述储液罐的所述液体出口连接有与所述产品储罐的入口连接的第二管道。
优选地,所述第二管路连通有第三支路和第四支路,所述第三支路与所述产品储罐的入口连接,所述第四支路与所述产品储罐的出口连接,所述第二管道还设置为具有从所述第四支路处延伸至所述接收装置的延伸管路;
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的