[实用新型]一种硅芯多晶硅线切割设备

说明书

本实用新型公开了一种硅芯多晶硅线切割设备，包括工作台和支腿，工作台下端固定连接有支腿，工作台上表面一端固定安装有水平移动装置，工作台通过水平移动装置与第一丝杠电机固定连接，第一丝杠电机输出端固定连接有第一丝杠导轨。本实用新型通过设置水平移动装置、第一丝杠导轨与第二丝杠导轨实现了切割装置的三维方向移动，同时在水平移动装置移动时带动电动伸缩杆移动，电动伸缩杆下端的软毛刷可以对工作台进行清理；通过设置通孔与收集箱可以对切割产生的碎屑进行收集。通过设置升降装置与弹簧，可以针对大小不同，厚度不同或者多块相同的多晶硅进行切割，采用夹板对被切割件进行固定确保切割的精准度。

技术领域

本实用新型涉及线切割设备技术领域，具体为一种硅芯多晶硅线切割设备。

背景技术

多晶硅，是单质硅的一种形态，具有半导体性质，是极为重要的优良半导体材料，但微量的杂质即可大大影响其导电性。电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料。

在使用前对多晶硅需要进行切割，因多晶硅切割时易碎裂故采用线切割技术。现有的线切割设备通常是对固定尺寸的多晶硅进行切割，针对不同的多晶硅则需要更换夹具，浪费时间，生产效率低。此外对于切割过程中产生的碎屑如果不及时清理容易进入设备中造成设备故障，影响使用造成经济损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅芯多晶硅线切割设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅芯多晶硅线切割设备，包括工作台和支腿，所述工作台下端固定连接有支腿，所述工作台上表面一端固定安装有水平移动装置，所述工作台通过水平移动装置与第一丝杠电机固定连接，所述第一丝杠电机输出端固定连接有第一丝杠导轨，且第一丝杠导轨外表面活动安装有第一移动座，所述第一移动座水平方向上固定安装有第二丝杠电机，且第二丝杠电机输出端通过第二丝杠导轨与第二移动座活动连接，所述第二移动座下端固定连接有连接杆，所述连接杆两端均设置有切割辊，两组切割辊之间设置有切割线，所述工作台上表面中部安装有两组固定座，两组所述固定座通过弹簧连接，所述工作台上表面位于固定座下端设置有滑槽，所述固定座上端固定安装有升降装置，且升降装置末端固定连接有夹板，所述工作台上表面远离水平移动装置的一端设置有支撑板，所述支撑板上端固定安装有水箱，且水箱下端通过水管与喷头固定连接，所述工作台上表面前端设置有通孔，且工作台下表面对应通孔的位置卡接有收集箱，所述水平移动装置下端固定安装有电动伸缩杆。

优选的，所述切割辊通过转轴与电机输出端固定连接，且转轴穿过连接杆，电机与连接杆焊接连接，两组切割辊中心的距离大于滑槽的长度。

优选的，所述固定座设置有两组，靠近水平移动装置的一组固定座与工作台上表面固定连接，靠近支撑板的一组固定座与滑槽滑动连接。

优选的，所述滑槽下端设置有通孔，滑槽高度为工作台高度的二分之一，通孔宽度小于滑槽宽度，通孔下端设置有收集箱。

优选的，所述水平移动装置包括T形固定板、矩形固定板、导轨、螺纹杆、第三丝杠电机与移动块，所述第三丝杠电机与矩形固定板固定连接，且第三丝杠电机输出端穿过矩形固定板与螺纹杆固定连接。

优选的，所述T形固定板设置组数为六组，导轨设置组数为两组，导轨两端通过T形固定板上端的凹槽固定，两组所述导轨与螺纹杆均穿过移动块，所述移动块下端固定安装有电动伸缩杆，且电动伸缩杆下端设置有软毛刷，软毛刷与工作台上表面接触。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.该装置通过设置水平移动装置、第一丝杠导轨与第二丝杠导轨实现了切割装置的三维方向移动，同时在水平移动装置移动时带动电动伸缩杆移动，电动伸缩杆下端的软毛刷可以对工作台进行清理；通过设置通孔与收集箱可以对切割产生的碎屑进行收集。