[实用新型]一种新型硅片清洗机烘干结构有效
| 申请号： | 201820800199.X | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN208349787U | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 刘锋;袁黎平;王宇 | 申请（专利权）人： | 无锡隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00;F26B21/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 进风口 槽体 硅片清洗机 烘干结构 槽体上部 出风口 风机 热风 上盖 本实用新型 槽体内部 风机连接 风机设置 烘干效率 边缘处 回风机 良率 体内 流通 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型硅片清洗机烘干结构，包括槽体、置于槽体上部的上盖、风机，其特征在于：所述的槽体上部边缘处设置有进风口，所述的上盖与槽体进风口对应的位置也设置有进风口；所述的风机设置于槽体底部，与进风口连接并通过进风口提供热风至槽体内，所述的槽体底部风机处设置有与风机连接的出风口，热风经槽体内部流通后经底部出风口循环回风机。
2.根据权利要求1所述的一种新型硅片清洗机烘干结构，其特征在于：所述的进风口为多个，并排设置于槽体上部相对的两侧，以及上盖上和槽体进风口对应的位置。
3.根据权利要求1或所述的一种新型硅片清洗机烘干结构，其特征在于：所述槽体上的进风口朝向上盖倾斜进风，并排设置于上盖相对两侧的上盖进风口朝向相对的方向进风。
4.根据权利要求1或2所述的一种新型硅片清洗机烘干结构，其特征在于：所述的进风口设置于槽体内并排硅片的两端。
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