[实用新型]一种适用于单晶体材料定向切割的三轴旋转工作台有效

专利信息
申请号: 201820801931.5 申请日: 2018-05-28
公开(公告)号: CN208496343U 公开(公告)日: 2019-02-15
发明(设计)人: 王皓亮;李延明 申请(专利权)人: 天津迈特赛思科技有限公司
主分类号: B23Q1/52 分类号: B23Q1/52
代理公司: 北京沁优知识产权代理事务所(普通合伙) 11684 代理人: 蔡岩岩
地址: 300000 天津市滨海新区滨海高新区华苑产业区工*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 垂直旋转 旋转工作台 定向切割 三轴 四爪自定心卡盘 单晶体材料 晶体学取向 转动机构 本实用新型 水平旋转台 金属材料 工作效率 互相平行 角度参数 快速定位 切割设备 单晶体 定向法 法兰盘 再利用 单晶 切割 测量 通用 保证
【权利要求书】:

1.一种适用于单晶体材料定向切割的三轴旋转工作台,其特征在于:包括旋转工作台转动机构,所述旋转工作台转动机构由第一垂直旋转台(1)、与第一垂直旋转台(1)互相平行的第二垂直旋转台(2)、设置在第一垂直旋转台(1)与第二垂直旋转台(2)之间的水平旋转台(3)组成,所述第一垂直旋转台(1)上设置有四爪自定心卡盘(4),所述第一垂直旋转台(1)和四爪自定心卡盘(4)通过法兰盘(5)固定在一起。

2.根据权利要求1所述的一种适用于单晶体材料定向切割的三轴旋转工作台,其特征在于:所述第一垂直旋转台(1)、水平旋转台(3)和第二垂直旋转台(2)都设置有基座(6),所述基座(6)内安装有刻度转盘(7)。

3.根据权利要求2所述的一种适用于单晶体材料定向切割的三轴旋转工作台,其特征在于:三个所述基座(6)的四角锪有沉孔(8),三个所述刻度转盘(7)的上表面沿圆周开有第一螺纹孔(9)。

4.根据权利要求2所述的一种适用于单晶体材料定向切割的三轴旋转工作台,其特征在于:所述基座(6)的侧面设置有精度调节块(10),所述精度调节块(10)的两端设置有粗精度角度调节旋钮(11)和高精度角度调节旋钮(12),所述精度调节块(10)与基座(6)连接面的正对面上设置有松紧调节旋钮(13)。

5.根据权利要求3所述的一种适用于单晶体材料定向切割的三轴旋转工作台,其特征在于:所述第一垂直旋转台(1)的基座(6)与所述水平旋转台(3)的刻度转盘(7)通过第一连接杆(14)连接在一起,所述水平旋转台(3)的基座(6)与第二垂直旋转台(2)的刻度转盘(7)通过第二连接杆(15)连接在一起。

6.根据权利要求5所述的一种适用于单晶体材料定向切割的三轴旋转工作台,其特征在于:所述第一连接杆(14)的一端的端面开有第二螺纹孔(16),所述第一连接杆(14)的侧面的一端开有第三螺纹孔(17),所述第二连接杆(15)的一端为与所述沉孔(8)外孔直径相同的圆柱,并在圆柱端面开有第四螺纹孔(18),所述第二连接杆(15)的侧面的一端开有台阶孔(19)。

7.根据权利要求6所述的一种适用于单晶体材料定向切割的三轴旋转工作台,其特征在于:所述第一垂直旋转台(1)的基座(6)上的沉孔(8)与第二螺纹孔(16)、所述第三螺纹孔(17)与水平旋转台(3)的刻度转盘(7)上的第一螺纹孔(9)、所述第四螺纹孔(18)与水平旋转台(3)的基座(6)上的沉孔(8)、所述台阶孔(19)与第二垂直旋转台(2)的刻度转盘(7)上的第一螺纹孔(9)均通过螺栓(20)连接固定在一起。

8.根据权利要求5所述的一种适用于单晶体材料定向切割的三轴旋转工作台,其特征在于:所述第二连接杆(15)与水平旋转台(3)接触的棱边倒角为平面,倒角深度到第二连接杆(15)接触不到所述水平旋转台(3)的刻度转盘(7)。

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