[实用新型]金刚线截断机对线装置有效
申请号: | 201820805693.5 | 申请日: | 2018-05-28 |
公开(公告)号: | CN208305433U | 公开(公告)日: | 2019-01-01 |
发明(设计)人: | 王会敏;张浩强;李立伟;吕思迦;张建龙;尤志剑 | 申请(专利权)人: | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 谢茵 |
地址: | 054001 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金刚线截断机 直线位移传感器 对线装置 红外投影仪 机架框体 硅棒 划线 本实用新型 信号输出端 传送信号 方向移动 硅片加工 控制主机 人工操作 同步运动 控制器 对齐 放置台 红外线 线切割 截断 重合 对线 硅锭 排布 切割 自动化 测量 | ||
1.一种金刚线截断机对线装置,其特征在于:包括机架框体、设于机架框体下部的硅棒放置台、设于机架框体上部可沿硅棒排布方向移动的红外投影仪、随红外投影仪同步运动的直线位移传感器、用于传送信号给直线位移传感器的人工操作端,所述直线位移传感器的信号输出端连接金刚线截断机控制主机。
2.根据权利要求1所述的金刚线截断机对线装置,其特征在于:所述直线位移传感器为光栅尺,所述光栅尺包括标尺光栅和光栅读数头。
3.根据权利要求1所述的金刚线截断机对线装置,其特征在于:所述硅棒放置台下方设置有滑轨,所述硅棒放置台借助于滑轨沿所述滑轨长度方向移动,所述滑轨与所述红外投影仪移动方向垂直。
4.根据权利要求3所述的金刚线截断机对线装置,其特征在于:所述硅棒放置台上设置有驱动硅棒放置台沿所述滑轨前后移动的动力机构。
5.根据权利要求1所述的金刚线截断机对线装置,其特征在于:所述红外投影仪借助于驱动机构移动。
6.根据权利要求5所述的金刚线截断机对线装置,其特征在于:所述驱动机构包括微型电机和丝杠螺母机构。
7.根据权利要求5所述的金刚线截断机对线装置,其特征在于:所述驱动机构包括微型电机和齿轮齿条机构。
8.根据权利要求5所述的金刚线截断机对线装置,其特征在于:所述红外投影仪通过直线位移传感器连接驱动机构。
9.根据权利要求5所述的金刚线截断机对线装置,其特征在于:所述驱动机构连接在机架框体上部的横梁上,所述机架框体还包括水平底板和两侧的竖梁,所述横梁的两端与竖梁滑动连接且设置限位机构,所述硅棒放置台设于水平底板上。
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