[实用新型]长晶设备及其位置调整装置有效
申请号: | 201820806779.X | 申请日: | 2018-05-22 |
公开(公告)号: | CN208293114U | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | 庄宇轩;黄上豪;王兴邦;李依晴 | 申请(专利权)人: | 环球晶圆股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽;高翠花 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 位置调整装置 延伸部 支架 枢接部 勾爪 坩埚 滑动部 热帷幕 穿设 炉盖 本实用新型 滑动部位 两端延伸 释放位置 悬吊位置 重力牵引 炉盖顶 滑动 枢接 相夹 支撑 | ||
1.一种长晶设备,其特征在于,包括:
一坩埚;
一炉盖,设置于所述坩埚的上方并且形成有一贯孔;
一热帷幕,位于所述坩埚与所述炉盖之间,所述热帷幕形成有一穿孔;以及
一位置调整装置,包括有:
一支架,可分离地设置于所述炉盖的顶缘;
一中柱,位于所述位置调整装置的中央且穿设于所述支架,并且所述中柱能相对于所述支架于一悬吊位置与一释放位置之间移动;
多个勾爪,各包括有一枢接部、自所述枢接部一端延伸的一滑动部及自所述枢接部另一端延伸的一延伸部,每个所述枢接部枢接于所述中柱,并且每个所述滑动部位于所述中柱旁且选择性地穿设于所述支架;在每个所述勾爪中,邻近所述枢接部的所述滑动部与所述延伸部的部位相夹形成介于140度至180度之间的一夹角;
当所述中柱位于所述悬吊位置时,所述位置调整装置穿设于所述贯孔,所述支架设置于所述炉盖的顶缘,多个所述滑动部穿设于所述支架,并且多个所述延伸部能够维持彼此的相对位置且穿过所述热帷幕的所述穿孔而支撑所述热帷幕的底缘,以维持所述热帷幕与所述坩埚的相对位置;
当所述中柱位于所述释放位置时,多个所述滑动部分离于所述支架,并且多个所述延伸部能够受重力牵引而朝向彼此靠近的方向移动,以使所述位置调整装置能够与所述热帷幕及所述炉盖分离。
2.根据权利要求1所述的长晶设备,其特征在于,所述支架包括有一束管滑套及可拆解地安装于所述束管滑套周围的多个调整杆,所述中柱穿设于所述束管滑套,每个所述滑动部位于多个所述调整杆的内侧且选择性地穿设于所述束管滑套;每个所述调整杆的底部可分离地设置于所述炉盖的顶缘。
3.根据权利要求2所述的长晶设备,其特征在于,所述热帷幕能够相对于所述坩埚在一第一位置与一第二位置间移动,并且所述第一位置与所述第二位置相隔有一第一距离;当所述热帷幕自所述第一位置移动至所述第二位置时,所述热帷幕朝向所述坩埚移动,并且所述中柱自所述悬吊位置移动至所述释放位置,且每个所述滑动部的末端移动至一第二距离后,与所述束管滑套分离;其中,所述第二距离等于所述第一距离。
4.根据权利要求3所述的长晶设备,其特征在于,每个所述调整杆形成有沿其长度方向排列的多个定位部,并且每个所述调整杆的多个所述定位部分别与另一个所述调整杆的多个所述定位部于位置上相互对应,所述束管滑套选择性地安装于每个所述调整杆的其中至少一个所述定位部,以使每个所述滑动部的所述末端移动所述第二距离后,与所述束管滑套分离。
5.根据权利要求2所述的长晶设备,其特征在于,所述束管滑套形成有一中心孔及连通所述中心孔的多个滑槽,所述中柱穿设于所述束管滑套的所述中心孔,而多个所述滑动部分别选择性地穿设于所述束管滑套的多个所述滑槽。
6.根据权利要求1~5任意一项所述的长晶设备,其特征在于,所述位置调整装置进一步包括有分别可拆解地安装于多个所述延伸部末端的多个调整块,并且当所述中柱位于所述悬吊位置时,多个所述调整块能穿过所述热帷幕的穿孔而抵靠于所述热帷幕的所述穿孔侧壁及所述底缘。
7.一种位置调整装置,用以悬吊一热帷幕,其特征在于,所述位置调整装置包括:
一支架;
一中柱,位于所述位置调整装置的中央且穿设于所述支架,所述中柱能相对于所述支架于一悬吊位置与一释放位置之间移动;以及
多个勾爪,各包括有一枢接部、自所述枢接部一端延伸的一滑动部及自所述枢接部另一端延伸的一延伸部;每个所述枢接部枢接于所述中柱,并且每个所述滑动部位于所述中柱旁且选择性地穿设于所述支架;并且在每个所述勾爪中,邻近所述枢接部的所述滑动部与所述延伸部的部位相夹形成介于140度至180度之间的一夹角;
当所述中柱位于所述悬吊位置时,多个所述滑动部穿设于所述支架,并且多个所述延伸部能够维持彼此的相对位置,以使多个所述延伸部能够用来穿过所述热帷幕而支撑所述热帷幕的底缘;
当所述中柱位于所述释放位置时,多个所述滑动部分离于所述支架,并且多个所述延伸部能受重力牵引而朝向彼此靠近的方向移动。
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