[实用新型]防松脱式引弧装置

说明书

防松脱式引弧装置，引弧气缸的气缸杆下部安装引弧针定位套，引弧针定位套与引弧针焊接为一体，气缸杆下端螺纹连接压帽；气缸杆上设有屏蔽套，屏蔽套下部与引弧针定位套之间设有调整垫片，引弧气缸下部及气缸杆上部外侧设有绝缘垫。本实用新型的防松脱式引弧装置，引弧针与靶材相对距离可调且不易因为靶材表面温度剧烈变化造成引弧针松脱，从而保证了引弧系统的稳定性。

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及真空工具镀膜设备上的多弧溅射源使用的引弧装置。

背景技术

目前，在真空镀膜技术领域内，因为多弧溅射源具有成膜速率高的特点，所以被广泛应用于为工具镀膜的镀膜机上。

多弧溅射源的工作原理为真空状态下靶材表面的弧光放电。靶材起弧使用引弧针进行引弧。多弧工作时，弧光放电产生能量很大，靶材表面和靶材正对方向的温度很高，多弧停止工作后，因为多弧的水冷却系统对靶材的作用，靶材表面的温度会很快降低，多弧的起停造成了多弧靶材表面温度的变化较大。我们公知的引弧装置引弧针是通过螺栓压在引弧杆上的，靶材正对方向剧烈的温度变化经常造成引弧装置的引弧针产生松脱现象。

为了解决引弧针松脱的问题，有些结构采用将引弧针焊接在引弧杆上的方式，虽然此方式解决了引弧针的松脱问题，但是当多弧长时间工作靶材消耗后会变薄，引弧针焊接在引弧杆上造成了无法调节引弧针与靶材的相对距离并且引弧针会在气缸杆上转动，当引弧针回缩接触不到靶材时造成不能引弧。

发明内容

为了解决应用于真空工具镀膜设备上的多弧溅射源使用的引弧装置的引弧针松脱的问题，本发明提供一种专为工具镀膜真空设备多弧溅射源使用的引弧装置。

本发明为实现上述目的所采用的技术方案是：防松脱式引弧装置，引弧气缸的气缸杆下部安装引弧针定位套，气缸杆下部为D型结构，引弧针定位套内孔为与气缸杆下部配合的D型孔，引弧针定位套与引弧针焊接为一体，气缸杆下端螺纹连接压帽；气缸杆上设有屏蔽套。

所述屏蔽套下部与引弧针定位套之间设有调整垫片。

引弧气缸下部及气缸杆上部外侧设有绝缘垫。

本发明的防松脱式引弧装置，引弧针与靶材相对距离可调且不易因为靶材表面温度剧烈变化造成引弧针松脱，从而保证了引弧系统的稳定性。

附图说明

图1是本发明防松脱式引弧装置主视剖面机构图。

图2是图1的A-A剖视图。

图中：1、引弧气缸，2、绝缘垫，3、靶材，4、屏蔽套，5、调整垫片，6、引弧针定位套，7、引弧针，8、压帽，9、气缸杆。

具体实施方式

本发明的防松脱式引弧装置结构如图1所示，引弧气缸1下部及气缸杆9上部外侧设有绝缘垫2，引弧气缸1的气缸杆9下部安装引弧针定位套6，气缸杆9下部为D型结构，引弧针定位套6内孔为与气缸杆9下部配合的D型孔，引弧针定位套6与引弧针（7）焊接为一体，气缸杆9下端螺纹连接压帽8；气缸杆9上位于绝缘垫下部、引弧针定位套6上部设有屏蔽套4，屏蔽套4下部与引弧针定位套6之间设有调整垫片5。

引弧气缸1供气，气缸杆9回缩带动引弧针7接触靶材3引弧。当靶材3厚度降低后，拆除调整垫片5使引弧针7与靶材3距离减小。引弧针定位套6内孔为与气缸杆9下部配合的D型孔，使引弧针定位套6不能在气缸杆9上转动，引弧针定位套6被压帽8固定在气缸杆上，使引弧针定位套6不能在气缸杆上滑动，引弧动作进行时，只有压帽8螺纹可能存在略微脱扣现象，引弧针定位套6因为与气缸杆配合并且被压帽8固定不会松脱，引弧针7和引弧针定位套6焊接在一起，使引弧针7不易松脱，从而保证了引弧系统的稳定性。

本发明是通过实施例进行描述的，本领域技术人员知悉，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可以对这些特征和实施例进行各种改变或等效替换。另外，在本发明的教导下，可以对这些特征和实施例进行修改以适应具体的情况及材料而不会脱离本发明的精神和范围。因此，本发明不受此处所公开的具体实施例的限制，所有落入本申请的权利要求范围内的实施例都属于本发明的保护范围。