[实用新型]一种压力可调的浮离抛光装置有效
申请号: | 201820812350.1 | 申请日: | 2018-05-29 |
公开(公告)号: | CN208644957U | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 杨晓京;余证;刘宁;刘浩 | 申请(专利权)人: | 昆明理工大学 |
主分类号: | B24B13/00 | 分类号: | B24B13/00;B24B13/005;B24B47/12;B24B47/22;B24B51/00 |
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地址: | 650093 云*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹具 抛光装置 旋转夹具 抛光 抛光盘 工件保持盘 托盘 抛光容器 压力可调 滚动轴承 电磁铁 电机传动机构 本实用新型 超精密抛光 压力传感器 传动零件 底部平台 电机安装 零件连接 轮齿啮合 轮齿转动 平台凹槽 平台机构 位移机构 主轴固定 电机轴 固定件 联轴器 抛光面 支撑架 质量差 上端 滑块 轮齿 平键 下端 穿过 | ||
1.一种压力可调的浮离抛光装置,其特征在于:包括抛光容器(1)、支撑架(6)、磁浮式微位移机构、抛光盘机构、夹具保持平台机构、电机传动机构,支撑架(6)位于抛光容器(1)外侧,磁浮式微位移机构、抛光盘机构、夹具保持平台机构均位于抛光容器(1)内部,磁浮式微位移机构包括第一电磁铁(18)、第二电磁铁(19)、电磁铁控制系统、压力传感器(22);抛光盘机构包括抛光盘(2)、抛光托盘(20)、第二主轴(21);夹具保持平台机构包括旋转夹具(5)、夹具保持平台(3)、工件保持盘(16);电机传动机构包括伺服电机(9)、联轴器(8)、第一主轴(7)、滚动轴承(10)、轮齿传动零件(4)、平键(11);
所述抛光容器(1)底部中间设有安装轴孔,第二主轴(21)穿过抛光容器(1)底部的安装轴孔伸入抛光容器(1)内部,第二主轴(21)由外部动力装置控制转动,第二主轴(21)的顶部与抛光托盘(20)连接,抛光托盘(20)安装在抛光盘(2)的底部,第一电磁铁(18)和第二电磁铁(19)分别安装在抛光盘(2) 底部和抛光容器(1)底部内壁,抛光盘(2)的上部为固定在抛光容器(1)内壁上的夹具保持平台(3),轮齿传动零件(4)安装在夹具保持平台(3)上部且内壁设有轮齿,夹具保持平台(3)上设有多个工位孔,工位孔内底部设置有空心的凸出平台,旋转夹具(5)包括空心圆柱体及设在空心圆柱体上部外侧的轮齿,空心圆柱体的下端放置在夹具保持平台(3)工位孔的凸出平台上,旋转夹具的轮齿与轮齿传动零件(4)内壁的轮齿啮合,工件保持盘(16)卡在旋转夹具(5) 空心圆柱体孔的下端,夹具保持平台(3)与抛光盘(2)的间距为H,工件(17) 、压力传感器(22)均固定在工件保持盘(16)底部,电磁铁控制系统一端与压力传感器(22)连接,另一端与分别第一电磁铁(18)和第二电磁铁(19)连接,电磁铁控制系统通过调节第一电磁铁(18)和第二电磁铁(19) 磁力大小来控制抛光盘(2)与夹具保持平台(3)的间距,伺服电机(9)安装在支撑架(6)上方,伺服电机(9)的电机轴穿过支撑架(6)上方支架后与联轴器(8)连接,联轴器(8)通过平键(11)与下方的第一主轴(7)连接,第一主轴(7)下端通过平键(11)与轮齿传动零件(4)连接,第一主轴(7)转动可带动轮齿传动零件(4)转动。
2.根据权利要求1所述的压力可调的浮离抛光装置,其特征在于:所述的压力传感器(22)获得的实时压力信号反馈给电磁铁控制系统,电磁铁控制系统根据输入压力信号与原设定压力值比较后来控制第一电磁铁(18)和第二电磁铁(19) 磁力大小,进而调整抛光盘(2)与夹具保持平台(3)的间距。
3.根据权利要求1所述的压力可调的浮离抛光装置,其特征在于:还包括固定件(14),所述的固定件(14)通过第二螺栓(15)固定在抛光容器(1)的四周,固定件(14)、夹具保持平台(3)对应处设有螺栓孔,第一螺栓(12)穿过夹具保持平台(3)、固定件(14)上的螺栓孔将二者连接在一起,第一螺栓(12)与夹具保持平台(3)的连接处安装有垫片(13)。
4.根据权利要求1所述的压力可调的浮离抛光装置,其特征在于:所述的伺服电机(9)的动力依次通过联轴器(8)、平键(11)、第一主轴(7)、轮齿传动零件(4)输出到旋转夹具(5)中,使工件(17)获得转速,外部动力装置输出的动力通过第二主轴(21)传递给抛光盘(2),使抛光盘(2)获得转速,工件(17)与抛光盘(2)转动方向相同,与的大小相近但不相等。
5.根据权利要求1所述的压力可调的浮离抛光装置,其特征在于:所述的夹具保持平台(3)上的工位孔直径与旋转夹具(5) 空心圆柱体的外径相同,夹具保持平台(3)工位孔内的凸出平台中心通孔直径与旋转夹具(5) 空心圆柱体的内径相同。
6.根据权利要求1所述的压力可调的浮离抛光装置,其特征在于:所述的工件(17)通过石蜡贴在工件保持盘(16)底部,所述的夹具保持平台(3)上设有4个工位孔,工位孔与夹具保持平台(3)中心的距离为。
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