[实用新型]一种半导体测试设备

权利要求书

1.一种半导体测试设备，包括检测仓(1)、传感器组(2)和夹具(3)，其特征在于，所述检测仓(1)内壁上端中间部位设置有夹具(3)，夹具(3)下端连接探针卡(4)，探针卡(4)下端连接探针(5)，所述夹具(3)左侧设置有传感器组(2)，所述夹具(3)右侧设置监控装置(6),所述检测仓(1)内壁底部设置有液压杆(12)，液压杆(12)上端连接出仓装置(11)，出仓装置(11)上端连接支撑台(10)，支撑台(10)左右两端滑动连接滑轨(8)，所述检测仓(1)外壁设置有操控台；

所述支撑台(10)包括支撑板(101)、限位孔(102)和支撑柱(103)，所述支撑板(101)正下方平行设置有支撑板a(109)，支撑板a(109)一端设置有限位块(107)，所述支撑板a(109)通过限位块(107)滑动连接滑轨(106)，滑轨(106)固定连接支撑板(101)，所述支撑板a(109)表面固定连接电机(108)，电机(108)轴部连接丝杆(105)，所述支撑板(101)与丝杆(105)位置、尺寸对应镶嵌有螺母装置(104)；

所述出仓装置(11)包括电机a(201)、滑板(202)和滑板a(203)，所述滑板(202)左右两端均设置有电机a(201)，电机a(201)轴部连接滚轮(206)，所述滑板(202)通过滚轮(206)滑动连接滑板a(203)，所述滑板a(203)与滚轮(206)位置对应设置有滑槽(204)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体测试设备，其特征在于，所述支撑板(101)表面设置有限位孔(102)，所述支撑板a(109)与限位孔(102)位置对应设置有支撑柱(103)，且支撑柱(103)上下两端直径与限位孔(102)相同，且支撑柱(103)高度大于限位孔(102)高度。

3.根据权利要求1所述的一种半导体测试设备，其特征在于，所述滑板a(203)设有滑槽(204)的一端表面中间部位设置有限位装置(205)，限位装置(205)设计成“T”形，且滑板(202)与限位装置(205)尺寸和位置对应设置有滑槽。

4.根据权利要求1所述的一种半导体测试设备，其特征在于，所述支撑台(10)左右两端均设置有滑块(301)，所述支撑台(10)通过滑块(301)滑动连接滑轨(8)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体测试设备，其特征在于，所述液压杆(12)下降到最低位置时，所述检测仓(1)表面与支撑台(10)和出仓装置(11)位置对应设置有通孔，且通孔尺寸大于支撑台(10)和出仓装置(11)共同的尺寸。

6.根据权利要求1所述的一种半导体测试设备，其特征在于，所述检测仓(1)表面与探针(5)位置对应设置有观察窗(7)，且观察窗(7)材质为钢化玻璃。