[实用新型]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置(2)，具备：

蒸镀源(23)，用于使蒸镀材料蒸发；和

防附着板(25)，包括本体部(31)，所述本体部(31)覆盖在所述蒸镀源(23)的上方并具有开口部(311)，所述开口部(311)用于露出所述蒸镀源(23)的至少一部分；

其特征在于，

所述防附着板(25)还包括立壁(30)，所述立壁(30)自所述本体部(31)向上立起。

2.根据权利要求1所述成膜装置(2)，其特征在于，

所述立壁(30)设置在所述开口部(311)的边缘。

3.根据权利要求1所述的成膜装置(2)，其特征在于，

所述立壁(30)与所述本体部(31)一体成型。

4.根据权利要求1所述的成膜装置(2)，其特征在于，

所述立壁(30)的高度为自所述本体部(31)起30mm以上。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的成膜装置(2)，其特征在于，

所述蒸镀源(23)为多个坩埚以能够公转的方式配置的旋转型蒸镀源，具有用于对蒸镀材料进行预加热的第一加热位置(237)和用于对预加热后的蒸镀材料进行主加热的第二加热位置(232)；

所述立壁(30)包括第一壁(30a)，其中，所述第一壁(30a)位于所述第一加热位置(237)和所述第二加热位置(232)之间。

6.根据权利要求5所述的成膜装置(2)，其特征在于，

所述防附着板(25)还包括第一防附着部(251a)，所述第一防附着部(251a)与所述第一加热位置(237)相对应，并且相对于所述本体部(31)向上凸起。

7.根据权利要求6所述的成膜装置(2)，其特征在于，

所述蒸镀源(23)具有用于对主加热后的蒸镀材料进行冷却的冷却位置(234)；

所述立壁(30)包括第二壁(30b)，其中，所述第二壁(30b)位于所述第二加热位置(232)和所述冷却位置(234)之间。

8.根据权利要求7所述的成膜装置(2)，其特征在于，

所述防附着板(25)还包括第二防附着部(252a)，所述第二防附着部(252a)与所述冷却位置(234)相对应，并且相对于所述本体部(31)向上凸起，所述第一壁(30a)和所述第二壁(30b)的高度小于所述第一防附着部(251a)，所述第一壁(30a)和所述第二壁(30b)的高度大于所述第二防附着部(252a)。

9.根据权利要求7所述的成膜装置(2)，其特征在于，

所述第一壁(30a)和所述第二壁(30b)分别从靠近所述旋转型蒸镀源的旋转中心的位置处向远离所述旋转中心的方向延伸。

10.根据权利要求9所述的成膜装置(2)，其特征在于，

所述第一壁(30a)和所述第二壁(30b)之间的距离随着距所述旋转中心的距离的增大而增大。

11.根据权利要求10所述的成膜装置(2)，其特征在于，

所述第一壁(30a)和所述第二壁(30b)之间的夹角为锐角。

12.根据权利要求7所述的成膜装置(2)，其特征在于，

所述立壁(30)还包括第三壁(30c)，所述第三壁(30c)连接所述第一壁(30a)和所述第二壁(30b)的靠近所述旋转型蒸镀源的旋转中心的端部。

13.根据权利要求12所述的成膜装置(2)，其特征在于，

所述第三壁(30c)为圆弧形壁；和/或，

所述第一壁(30a)和所述第二壁(30b)中的至少一者为直壁。

14.根据权利要求1-4中任一项所述的成膜装置(2)，其特征在于，

所述成膜装置(2)还具备蒸发挡板(26)，所述蒸发挡板(26)可动地设置在所述防附着板(25)的上方，能够在第一位置和第二位置之间运动，当处于第一位置时，所述蒸发挡板(26)遮挡在所述开口部(311)的上方，当处于第二位置时，所述蒸发挡板(26)偏离所述开口部(311)的上方，

当所述蒸发挡板(26)处于所述第二位置时，所述开口部(311)位于所述立壁(30)的第一侧，所述蒸发挡板(26)的至少一部分位于所述立壁(30)的与所述第一侧相反的第二侧。