[实用新型]传动机构及氦检装置

权利要求书

1.一种传动机构，用于输送工件进出氦检装置的真空箱，所述真空箱包括一侧壁，其特征在于：所述传动机构包括：

第一传动轴；

第二传动轴，与该第一传动轴相对设置；

第一磁性联轴器，该第一传动轴的一端可转动地容纳于第一磁性联轴器，该第一磁性联轴器远离第一传动轴的一端开设有第一容纳槽；

第二磁性联轴器，该第二磁性联轴器容纳于第一容纳槽，该第二传动轴的一端可转动地容纳于第二磁性联轴器；及

密封圈，该密封圈夹设于侧壁和第一磁性联轴器之间。

2.如权利要求1所述的传动机构，其特征在于，该第一磁性联轴器包括连接段和与该连接段连接的容纳段，该连接段开设有第二容纳槽，该第一传动轴的一端可转动地容纳于第二容纳槽，该容纳段开设有所述第一容纳槽，该密封圈夹设于侧壁和容纳段之间。

3.如权利要求1所述的传动机构，其特征在于，该第二磁性联轴器背向第一容纳槽的底壁的一端面凹设有容置槽，该第二传动轴的一端可转动地容纳于容置槽。

4.如权利要求1-3任一项所述的传动机构，其特征在于，所述传动机构还包括容纳于真空箱内的滚动组件，该滚动组件包括若干相铰接的滚动件，该第二传动轴远离第一传动轴的一端穿过侧壁与其中一滚动件连接。

5.如权利要求1-3任一项所述的传动机构，其特征在于，所述传动机构还包括驱动件，该驱动件与第一传动轴连接。

6.如权利要求1-3任一项所述的传动机构，其特征在于，所述传动机构还包括轴承，该侧壁开设有开孔，该轴承容纳于开孔中，且第二传动轴的一端可转动地穿过轴承，并可转动地容纳于第二磁性联轴器中。

7.如权利要求6所述的传动机构，其特征在于，所述传动机构还包括设于侧壁的固定件，该固定件与轴承连接，该固定件开设有过孔，第二传动轴可转动地穿过轴承和过孔，并可转动地容纳于第二磁性联轴器中。

8.如权利要求7所述的传动机构，其特征在于，所述传动机构还包括容纳于第一容纳槽中的隔离罩，该隔离罩开设有容纳第二磁性联轴器的收容槽，该收容槽具有槽壁，该密封圈夹设于槽壁和固定件之间；或，

该密封圈夹设于槽壁的周缘和固定件之间；或，

该密封圈夹设于槽壁的周缘与槽壁的连接处和固定件之间。

9.一种氦检装置，包括真空箱、分别与真空箱连接的检漏仪及抽真空机构，其特征在于，所述氦检装置还包括权利要求1-8中任一项所述的传动机构。

10.如权利要求9所述的氦检装置，其特征在于，所述氦检装置还包括第一管道，该检漏仪通过第一管道与真空箱连通；且/或，所述氦检装置还包括第二管道，该抽真空机构通过第二管道与真空箱连通。