[实用新型]超纯氦纯化装置

权利要求书

1.一种超纯氦纯化装置，其特征在于：包括纯化器，所述纯化器的内腔设置有抛光管，所述抛光管内填充有吸气剂，所述抛光管的外壁缠绕有电加热管，所述抛光管的一端设置有用以5N氦气进入的第一进气口，所述抛光管的另一端设置有用以6N氦气排出的第一出气口。

2.根据权利要求1所述的超纯氦纯化装置，其特征在于：所述纯化器通过出气管顺序经过换热器、冷却器与膜压机相连接。

3.根据权利要求2所述的超纯氦纯化装置，其特征在于：所述换热器内设置有5N氦气换热通道与6N氦气换热通道，所述5N氦气换热通道上设置有第二进气口与第二出气口，所述第二进气口经进气管与5N氦气原料瓶相连接，所述第二出气口经出气管与第一进气口相连接，所述6N氦气换热通道上设置有第三进气口与第三出气口，所述第三进气口经进气管与第一出气口相连接，所述第三出气口经出气管与冷却器相连接。

4.根据权利要求1所述的超纯氦纯化装置，其特征在于：所述电加热管外设置有保温层，所述保温层外设置有封闭铝板。

5.根据权利要求2所述的超纯氦纯化装置，其特征在于：所述膜压机经出气管与6N氦气瓶相连接。

6.根据权利要求5所述的超纯氦纯化装置，其特征在于：连接所述冷却器与膜压机之间的出气管、连接膜压机与6N氦气瓶之间的出气管上均设置有分析阀与放空阀。

7.根据权利要求3所述的超纯氦纯化装置，其特征在于：连接所述5N氦气原料瓶与5N氦气换热通道之间的进气管上设置有减压阀。

8.根据权利要求1所述的超纯氦纯化装置，其特征在于：所述吸气剂采用锆钒铁吸气剂。