[实用新型]一种可变带宽声表面波宽带滤波器

说明书

本实用新型涉及一种可变带宽声表面波宽带滤波器，包括压电基片、输入叉指换能器、输出叉指换能器，所述输入叉指换能器包括扇形输入叉指阵列及其扇形输入叉指阵列两端的输入汇流电极和第一接地汇流电极，所述输出叉指换能器包括扇形输出叉指阵列及其扇形输出叉指阵列两端的输出汇流电极和第二接地汇流电极；通过本实用新型,可变带宽声表面波宽带滤波器可因环境温度或工作温度的变化相应输出不同通带宽度以及通带中心频率的高频滤波信号，并且可结合形状记忆合金相变温度点的设定和复合叉指结构标称周期的设计，更方便地进行声表面波滤波器的频带宽度或频带范围的调控，还可进一步应用于基于声表面波滤波器的温度传感器。

技术领域

本实用新型涉及一种声表面波滤波器，尤其涉及一种基于形状记忆合金材料的可变带宽声表面波宽带滤波器，属于微声电子器件技术领域。

背景技术

声表面波滤波器由制作在压电基片上的输入叉指换能器将电信号转换成声信号，声信号沿基片表面传播，再由输出叉指换能器将声信号转换成电信号，在两次转换中实现对电信号的滤波功能。

现行技术中实现大带宽声表面波滤波器的有效方法是采用扇形叉指换能器结构。常规叉指换能器由周期性排列在压电基片表面且垂直于声表面波传播方向的等宽矩形金属指阵列构成，叉指换能器的外形呈矩形，而扇形叉指换能器则由倾斜或折线状的非矩形金属指阵列构成，叉指换能器的外形呈扇形，其扇形锥度决定声表面波滤波器通带相对带宽的大小。

常规上，声表面波叉指换能器中的金属指阵列结构是通过对淀积在压电基片表面的金属膜进行光刻、刻蚀获得的，组成叉指换能器的若干金属指以确定的重复周期粘附在压电基片表面。具有这一特征的叉指换能器在应用于声表面波宽带滤波器时，可以实现稳定的通带宽度和中心频率。虽然可以通过对叉指换能器的叉指阵列结构进行加权或者通过改变扇形叉指换能器的扇形锥度来设计不同带宽要求的声表面波宽带滤波器。但与其他声表面波器件一样，一旦叉指换能器的几何结构在工艺上实现，声表面波宽带滤波器的通带宽度以及通带中心频率也随之确定而无法进一步调整，这在一定程度上限制了声表面波滤波器的应用范围。

实用新型内容

本实用新型的目的就是为了克服现有技术中的不足，提供一种可变带宽声表面波宽带滤波器结构，可用于实现带宽可控的声表面波宽带滤波器。

本实用新型的目的是这样实现的，一种可变带宽声表面波宽带滤波器，包括压电基片、输入叉指换能器、输出叉指换能器，所述输入叉指换能器包括扇形输入叉指阵列及其两端的输入汇流电极和第一接地汇流电极，所述输出叉指换能器包括扇形输出叉指阵列及其两端的输出汇流电极和第二接地汇流电极；

所述扇形输入叉指阵列和扇形输出叉指阵列均包含若干浮置复合指，所述若干浮置复合指相对于其所在扇形叉指阵列的纵向中心线按一定周期对称排列，扇形叉指阵列上端浮置复合指的排列周期最大，扇形叉指阵列下端浮置复合指的排列周期最小，且至上而下连续递减；

所述浮置复合指为上宽下窄的梯形指条，包含依次相连的金属指、介质延长指和金属连接指，所述金属指的内端附有连接凸块，所述介质延长指的两端附有连接凹槽，所述金属连接指的内端附有连接凸块，所述金属指内端的连接凸块与介质延长指一端的连接凹槽相嵌，介质延长指另一端的连接凹槽与金属连接指内端的连接凸块相嵌；

所述各个浮置复合指浮置在压电基片表面，其下表面与压电基片表面紧密贴合；

所述扇形输入叉指阵列中的若干浮置复合指分为两组，其中一组浮置复合指的金属指外端汇接于输入汇流电极，其金属连接指外端汇接于第一接地汇流电极，而另一组浮置复合指的金属指外端汇接于第一接地汇流电极，其金属连接指外端汇接于输入汇流电极，两组浮置复合指中的各个浮置复合指相互交替排列，其中的金属指部分相互交叉排列，构成叉指状结构；