[实用新型]表面尘埃粒子计数器有效
申请号: | 201820820928.8 | 申请日: | 2018-05-30 |
公开(公告)号: | CN208206749U | 公开(公告)日: | 2018-12-07 |
发明(设计)人: | 刘嘉;陈志强;魏文龙;强志浩;王陈燕 | 申请(专利权)人: | 江苏苏净集团有限公司;苏州苏净仪器自控设备有限公司 |
主分类号: | G01N15/10 | 分类号: | G01N15/10 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 孙仿卫 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 粒子计数器 表面尘埃 排气口 吸气口 采样 吹扫 检测 本实用新型 待检测表面 采样气路 采样气体 尘埃粒子 吹扫气路 过滤器 表面附着 尘埃颗粒 吹扫气体 分析检测 激光颗粒 计数装置 物体表面 分类 流通 吹出 吸入 分析 | ||
1.一种表面尘埃粒子计数器,用于对待检测表面上附着的尘埃粒子进行检测和分类计数,其特征在于:所述表面尘埃粒子计数器包括:
与所述待检测表面保持检测距离以吸入其与所述待检测表面之间气体的采样吸气口;
一端与所述采样吸气口相连接且其中流通采样气体的采样气路;
设置于所述采样气路上并对所述采样气体中所包含的尘埃颗粒进行检测和分类计数的激光颗粒计数装置;
与所述待检测表面保持吹扫距离而向所述待检测表面吹出气体的吹扫排气口;
一端与所述吹扫排气口相连接且其中流通有吹扫气体的吹扫气路。
2.根据权利要求1所述的表面尘埃粒子计数器,其特征在于:所述表面尘埃粒子计数器还包括过滤器,所述采样气路的另一端经所述过滤器与所述吹扫气路的另一端相连接。
3.根据权利要求1或2所述的表面尘埃粒子计数器,其特征在于:所述采样吸气口、所述吹扫排气口设置在一分析探头上。
4.根据权利要求3所述的表面尘埃粒子计数器,其特征在于:所述采样吸气口为一个,所述吹扫排气口为多个,且所述吹扫排气口环绕所述采样吸气口设置。
5.根据权利要求4所述的表面尘埃粒子计数器,其特征在于:多个所述吹扫排气口并接或串接。
6.根据权利要求3所述的表面尘埃粒子计数器,其特征在于:所述检测距离与所述吹扫距离相等。
7.根据权利要求1所述的表面尘埃粒子计数器,其特征在于:所述激光颗粒计数装置包括:
驱动所述采样气体在所述采样气路中单向流通的真空泵;
发射激光照射所述采样气体并输出对应电信号的激光探测器;
控制所述真空泵、控制所述激光探测器所发射激光功率、接收并处理所述电信号而获得检测和分类计数结果的微电脑板,所述微电脑板分别与所述真空泵、所述激光探测器相连接。
8.根据权利要求7所述的表面尘埃粒子计数器,其特征在于:所述激光探测器包括:
与所述微电脑板相信号连接而用于发射激光的激光器;
具有与所述采样气路相连通的腔体,并能够接收所述激光照射所述腔体中的所述采样气体后产生的光信号并将其转换成对应所述电信号的尘埃粒子监测传感器。
9.根据权利要求7所述的表面尘埃粒子计数器,其特征在于:所述激光颗粒计数装置还包括分别检测所述激光探测器上游和下游的气压并计算压差后输出压差信号给所述微电脑板的微压差计。
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