[实用新型]双甩蜡组件

说明书

本实用新型公开了一种双甩蜡组件，包括料仓、翻转机构、设置在所述料仓和翻转机构之间且相互对称的两组滴蜡甩蜡机构和两组烘烤加热装置，设置在所述料仓与所述滴蜡甩蜡机构之间的晶片搬运机械手，以及在滴蜡甩蜡机构、烘烤加热装置和翻转机构之间移动送料的取片移位装置。本实用新型的双甩蜡组件，采用滴蜡甩蜡机构和两组烘烤加热装置，可以同时对两组晶片进行滴蜡、甩蜡和烘烤加热，提高了生产效率。并且通过设置料仓、晶片移位装置和翻转机构，可以及时进行晶片上料和移送，确保滴蜡甩蜡后或者烘烤加热后的晶片可以被顺利移送至下一工位，通过设置晶片搬运机械手，可以确保及时上料。

技术领域

本实用新型涉及衬底加工领域，特别涉及一种双甩蜡组件。

背景技术

晶片的抛光过程中，需要将晶片固定在保持件(磁盘)上，通常采用的是有蜡抛光工艺，即将待抛光的晶片通过蜡的粘结而固定于磁盘上。现有的贴蜡设备采用流水线生产工艺，即在一整体设备中逐步进行滴蜡、甩蜡、加热、粘结和冷却工艺，由于一些工艺步骤例如滴蜡、甩蜡工艺所消耗的时间较多，导致整个生产制程较慢，造成生产成本过高。

实用新型内容

本实用新型提供一种双甩蜡组件，以解决现有技术中存在的上述技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种双甩蜡组件，包括料仓、翻转机构、设置在所述料仓和翻转机构之间且相互对称的两组滴蜡甩蜡机构和两组烘烤加热装置，设置在所述料仓与所述滴蜡甩蜡机构之间的晶片搬运机械手，以及在滴蜡甩蜡机构、烘烤加热装置和翻转机构之间移动送料的取片移位装置。

作为优选，所述取片移位装置包括：位于滴蜡甩蜡机构、烘烤加热装置和翻转机构外侧且沿直线布置的机械手传送带以及设置在所述机械手传送带上的移动机械手。

作为优选，所述料仓设置有多组，且所述多组料仓呈弧形布置。

作为优选，所述两组滴蜡甩蜡机构位于所述弧形的开口处。

作为优选，所述晶片搬运机械手设置在滴蜡甩蜡机构与料仓之间的区域，并在所述料仓与滴蜡甩蜡机构之间移动送料。

作为优选，所述翻转机构包括底部滑道、位于所述底部滑道上的安装座、固定在安装座上的旋转台以及固定在所述旋转台上的可翻转夹具和/或可翻转吸盘。

作为优选，所述翻转夹具和/或可翻转吸盘由旋转气缸驱动旋转，所述旋转气缸固定在所述旋转台上。

与现有技术相比，本实用新型的双甩蜡组件，采用滴蜡甩蜡机构和两组烘烤加热装置，可以同时对两组晶片进行滴蜡、甩蜡和烘烤加热，提高了生产效率。并且本实用新型通过设置料仓、晶片移位装置和翻转机构，可以及时进行晶片上料和移送，确保滴蜡甩蜡后或者烘烤加热后的晶片可以被顺利移送至下一工位，通过设置晶片搬运机械手，可以确保及时上料。

附图说明

图1为本实用新型中双甩蜡贴片机的立体结构示意图；

图2为本实用新型中双甩蜡贴片机的俯视图(无防护罩)；

图3为本实用新型中双甩蜡贴片机的机架的主视图(有防护罩)；

图4为本实用新型中双甩蜡组件的结构示意图；

图5为本实用新型中双冷压机构的结构示意图；

图6为本实用新型中三轴垂直机械手的结构示意图。

图中所示：10-机架、101-万向轮、102-机架开门、103-料仓移动车、

20-料仓、30-第一滴蜡甩蜡装置、40-第一烘烤加热装置、50-第一取片移动装置、51-机械手传送带、52-移动机械手、60-上料装置、70-预加热台、80-水平搬运装置、90-加热台、91-旋转电机、100-固定下压装置；