[实用新型]一种高效冷却的单晶炉坩埚杆有效
| 申请号： | 201820831761.5 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN208440725U | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 李小刚 | 申请（专利权）人： | 峨眉山市元素新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 白小明 |
| 地址： | 614100 四川省乐山*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚杆 排水管 单晶炉 本实用新型 不均匀 出水室 进水室 冷却管 相通 水套 高效冷却 内部设置 冷却水 呈螺旋状 底部连接 局部高温 外部设置 出水管 进水管 夹层 联通 冷却 环绕 流动 | ||
1.一种高效冷却的单晶炉坩埚杆，包括坩埚杆(1)，坩埚杆(1)底部连接有水套(2)，其特征在于：水套(2)内部设置有进水室(22)和出水室(24)，水套(2)外部设置有与进水室(22)相通的进水管(3)和与出水室(24)相通的出水管(4)；坩埚杆(1)内部设置有与进水室(22)相通的冷却管(11)和与出水室(24)相通的排水管(12)，排水管(12)位于坩埚杆(1)中部，冷却管(11)呈螺旋状环绕排水管(12)设置，冷却管(11)和排水管(12)在坩埚杆(1)的顶部联通。
2.按照权利要求1所述的一种高效冷却的单晶炉坩埚杆，其特征在于：所述水套(2)包括内壳体(21)和套设在内壳体(21)外部的外壳体(23)，内壳体(21)和坩埚杆(1)底部之间形成进水室(22)，内壳体(21)、外壳体(23)和坩埚杆(1)底部之间形成出水室(24)。
3.按照权利要求2所述的一种高效冷却的单晶炉坩埚杆，其特征在于：所述坩埚杆(1)底部设置有凸起的限位环(13)，限位环(13)嵌入内壳体(21)和外壳体(23)之间形成的空间内，限位环(13)和外壳体(23)之间设置有水封Ⅰ(9)，限位环(13)和内壳体(21)之间设置有水封Ⅱ(10)。
4.按照权利要求1所述的一种高效冷却的单晶炉坩埚杆，其特征在于：坩埚杆(1)侧面设置有升降装置(6)，所述升降装置(6)通过连接杆Ⅰ(7)与坩埚杆(1)连接，升降装置(6)通过连接杆Ⅱ(8)与水套(2)连接。
5.按照权利要求4所述的一种高效冷却的单晶炉坩埚杆，其特征在于：升降装置(6)上设置有带动坩埚杆(1)转动的电机(5)。
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