[实用新型]一种多点支撑的单晶炉坩埚杆有效
| 申请号： | 201820831966.3 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN208440726U | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 李小刚 | 申请（专利权）人： | 峨眉山市元素新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 白小明 |
| 地址： | 614100 四川省乐山*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚杆 上行流道 下行流道 单晶炉 本实用新型 水道 冷却 连通 侧面支撑 多点支撑 内部设置 中心支撑 顶部设置 对称设置 局部高温 冷却作用 使用寿命 冷却水 散热 盘状 | ||
1.一种多点支撑的单晶炉坩埚杆，包括坩埚杆(2)，坩埚杆(2)中设置有上行流道(13)和下行流道(12)，上行流道(13)和下行流道(12)在坩埚杆(2)顶部连通，其特征在于：所述坩埚杆(2)顶部设置有一个中心支撑脚(4)和多个对称设置的侧面支撑脚(6)，中心支撑脚(4)内部设置有冷却支水道Ⅰ(5)，所述冷却支水道Ⅰ(5)的两端分别与上行流道(13)和下行流道(12)连通，所述侧面支撑脚(6)内部设置有冷却支水道Ⅱ(7)，冷却支水道Ⅱ(7)的两端分别与上行流道(13)和下行流道(12)连通。
2.按照权利要求1所述的一种多点支撑的单晶炉坩埚杆，其特征在于：所述侧面支撑脚(6)的设置方向与坩埚杆(2)的轴线的具有45-75度的角度，侧面支撑脚(6)的设置方向朝向远离坩埚杆(2)的轴线的方向。
3.按照权利要求1所述的一种多点支撑的单晶炉坩埚杆，其特征在于：所述坩埚杆(2)顶部设置有圆盘状的强化部(11)，所述中心支撑脚(4)和侧面支撑脚(6)均设置在强化部(11)上。
4.按照权利要求3所述的一种多点支撑的单晶炉坩埚杆，其特征在于：所述侧面支撑脚(6)设置在强化部(11)上表面的边缘。
5.按照权利要求3所述的一种多点支撑的单晶炉坩埚杆，其特征在于：所述侧面支撑脚(6)下部和强化部(11)外侧面之间设置有加腋板(8)。
6.按照权利要求3所述的一种多点支撑的单晶炉坩埚杆，其特征在于：所述强化部(11)中设置有进水腔(10)和出水腔(9)，所述进水腔(10)底部与上行流道(13)连通，所述进水腔(10)上部分别与冷却支水道Ⅰ(5)和冷却支水道Ⅱ(7)的一端连通，所述出水腔(9)底部与下行流道(12)连通，所述出水腔(9)上部分别与冷却支水道Ⅰ(5)和冷却支水道Ⅱ(7)的另一端连通。
7.按照权利要求1所述的一种多点支撑的单晶炉坩埚杆，其特征在于：所述冷却支水道Ⅰ(5)和冷却支水道Ⅱ(7)的形状为U形。
8.按照权利要求1所述的一种多点支撑的单晶炉坩埚杆，其特征在于：所述上行流道(13)为直线型，所述下行流道(12)为螺旋状，下行流道(12)环绕上行流道(13)设置。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于峨眉山市元素新材料科技有限公司，未经峨眉山市元素新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820831966.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高效冷却的单晶炉坩埚杆
- 下一篇：一种外延生长用的设备
