[实用新型]化学水浴薄膜的沉积装置

权利要求书

1.一种化学水浴薄膜的沉积装置，其特征在于，包括：

放卷辊，包括第一放卷辊和第二放卷辊，其中所述第一放卷辊用于缠绕隔离保护层，所述第二放卷辊用于缠绕镀膜衬底，并且，所述第一放卷辊和第二放卷辊被配置为使得所述隔离保护层覆盖所述镀膜衬底以形成复合层；

水浴反应室，被配置为容纳所述复合层使其进行沉积反应；

收卷辊，被配置为接收完成沉积反应的复合层。

2.根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，所述收卷辊包括第一收卷辊和第二收卷辊，其中第一收卷辊用于接收完成沉积反应的隔离保护层，第二收卷辊用于接收完成沉积反应的镀膜衬底。

3.根据权利要求1所述的沉积装置，其特征在于，所述放卷辊还包括放卷定位滚轴，所述放卷定位滚轴设置在第一放卷辊和第二放卷辊靠近水浴反应室的一侧。

4.根据权利要求3所述的沉积装置，其特征在于，所述收卷辊还包括收卷定位滚轴，所述收卷定位滚轴设置在第一收卷辊和第二收卷辊靠近水浴反应室的一侧。

5.根据权利要求4所述的沉积装置，其特征在于，所述水浴反应室内设有滚轴，所述滚轴包括第一滚轴和第二滚轴，所述第一滚轴设置在所述放卷定位滚轴的斜下方，所述第二滚轴设置在所述收卷定位滚轴的斜下方。

6.根据权利要求5所述的沉积装置，其特征在于，所述放卷辊与所述收卷辊对称设置在所述水浴反应室的侧上方。

7.根据权利要求5所述的沉积装置，其特征在于，所述第二滚轴与所述收卷定位滚轴之间设有清洗喷淋装置和干燥装置。

8.根据权利要求1-7任一项所述的沉积装置，其特征在于，所述隔离保护层为柔性磁铁，所述镀膜衬底为不锈钢衬底。

9.根据权利要求8所述的沉积装置，其特征在于，所述柔性磁铁为具有强磁性的橡胶磁条或磁铁薄膜。

10.根据权利要求5、6或7所述的沉积装置，其特征在于，所述水浴反应室包括耐腐蚀的反应槽体、加热恒温装置、反应溶液排放装置和反应溶液补给装置，所述滚轴放置于耐腐蚀的反应槽体中，所述滚轴为耐腐蚀滚轴。

11.根据权利要求1-7任一项所述的沉积装置，其特征在于，所述镀膜衬底上设有背电极金属层和p型光吸收层，所述隔离保护层覆盖在所述镀膜衬底远离背电极金属层的一面。