[实用新型]一种用于坩埚生产的辅助模具

说明书

一种用于坩埚生产的辅助模具，该辅助模具设置在原模具的上方，原模具的本体为圆柱体，圆柱体的上端面中部设置有螺纹孔，圆柱体的下端设置有倒置的圆锥体，圆锥体下端设置有棒体，辅助模具包括圆柱体形状的模具本体，模具本体的直径与原模具本体的直径相同，模具本体上端设置有扁圆柱形的凸台，辅助模具中部设置有竖直的螺纹通孔，螺纹通孔的直径与螺纹孔的直径相同。本实用新型采用辅助模具与生产坩埚的原模具配合，在辅助模具上设置凸台，可以有效的分散坩埚在冷缩过程中产生的应力，保证坩埚强度，延长使用寿命；又在辅助模具上设置圆环边，帮助反应气体导流，提高了生产效率。

技术领域

本实用新型属于化学气相沉积技术领域，具体涉及一种用于坩埚生产的辅助模具。

背景技术

化学气相沉积炉是利用化学气相沉积的原理，将参与化学反应的物质，加热到一定工艺温度，在真空泵抽气系统产生的引力作用下，引至沉积室进行反应、沉积，生成新的固态物质。

现需要采用化学气相沉积法来生产一种热解氮化硼坩埚（如图1所示），目前生产该坩埚所用的原模具1（如图2所示），原模具的本体为圆柱体，圆柱体的上端面中部设置有螺纹孔2，圆柱体的下端设置有倒置的圆锥体，圆锥体下端设置有棒体，原模具材料为石墨；由于石墨模具和热解氮化硼材料的热膨胀系数不一样，当高温下沉积完毕后，因氮化硼冷缩，降温过程中收缩存在应力，应力过于集中在坩埚壁上，使坩埚壁存在应力，坩埚壁层间强度低；坩埚在使用的过程中，坩埚壁多次加热，升温降温会导致低强度的坩埚壁出现开裂、分层等问题，这是与热解氮化硼的类似石墨的层状结构特性决定的，使整体坩埚的使用寿命低。

因此，有必要设计一种用于坩埚生产的辅助模具来解决上述问题。

发明内容

为克服上述现有技术中的不足，本实用新型目的在于提供一种用于坩埚生产的辅助模具。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供的技术方案是：一种用于坩埚生产的辅助模具，该辅助模具设置在原模具的上方，所述原模具的本体为圆柱体，所述圆柱体的上端面中部设置有螺纹孔，所述圆柱体的下端设置有倒置的圆锥体，所述圆锥体下端设置有棒体，所述辅助模具包括圆柱体形状的模具本体，所述模具本体的直径与所述原模具本体的直径相同，所述模具本体上端设置有扁圆柱形的凸台，所述辅助模具中部设置有竖直的螺纹通孔，所述螺纹通孔的直径与所述螺纹孔的直径相同。

优选的技术方案为：所述凸台下端面的周围设置有圆环边，所述圆环边的内侧面与所述凸台的下端面之间设置有圆倒角。

优选的技术方案为：所述圆环边的下端面高于所述模具本体的下端面设置。

优选的技术方案为：所述模具本体、凸台和圆环边为一体式设置。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：

本实用新型采用辅助模具与生产坩埚的原模具配合，在辅助模具上设置凸台，可以有效的分散坩埚在冷缩过程中产生的应力，保证坩埚强度，延长使用寿命；又在辅助模具上设置圆环边，帮助反应气体导流，提高了生产效率；本实用新型辅助效果好，提高了生产效率以及产品质量，相比原模具生产的坩埚，使用次数更长，效果显著。

附图说明

图1为坩埚示意图。

图2为原模具示意图。

图3为本实用新型示意图。

以上附图中，原模具1，螺纹孔2，模具本体3，凸台4，螺纹通孔5，圆环边6，圆倒角7。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。