[实用新型]一种用于气相沉积炉尾气处理的自清洗式除焦装置

权利要求书

1.一种用于气相沉积炉尾气处理的自清洗式除焦装置，包括装置本体，所述装置本体上端设置有尾气入口，所述尾气入口一侧设置有尾气出口，其特征在于：所述装置本体为倒置的水瓶状，所述装置本体的内壁圆滑，所述装置本体下端设置有排出口，所述排出口上方设置有开合式挡板，所述挡板一侧设置有阀门，所述装置本体内从左至右依次竖直设置有第一水管、第二水管和第三水管，所述第一水管、第二水管和第三水管上端均贯穿所述装置本体的上端与外界连通设置，所述第一水管、第二水管和第三水管的侧壁上均布设置有若干水平喷水口，所述第一水管、第二水管和第三水管的下端均设置有竖直喷水口。

2.根据权利要求1所述的一种用于气相沉积炉尾气处理的自清洗式除焦装置，其特征在于：所述第二水管低于所述第一水管、第三水管设置，所述第二水管的水平喷水口与所述第一水管、第三水管的水平喷水口不设置在同一水平线上。

3.根据权利要求1所述的一种用于气相沉积炉尾气处理的自清洗式除焦装置，其特征在于：所述装置本体内壁设置有涂层，所述涂层材料为聚四氟乙烯。