[实用新型]一种用于化学沉积炉的除焦油装置

说明书

一种用于化学沉积炉的除焦油装置，装置本体上端设置有废气入口，装置本体下端设置有废气出口，废气出口右侧设置有集油口，装置本体内水平设置有若干钢丝，钢丝上均布固定有若干毛刷球，钢丝上还设置有可左右移动的弧形板，弧形板中心设置有小孔，弧形板通过小孔串接在钢丝上，毛刷球为软弹性材料，弧形板开口向右设置，装置本体的左侧设置有若干回卷装置，弧形板左端通过回卷线与回卷装置连接，装置本体的右侧设置有拉板，弧形板右端通过拉线与拉板连接。本实用新型可以减少焦油在内壁的附着，可以通过弧形板的左右移动将焦油撸下并集中处理，在废气出口设置过滤网，保证除焦效果，使得焦油可以集中处理，避免管路堵塞，实用性强，适合推广。

技术领域

本实用新型涉及一种除焦油装置，具体涉及一种用于化学沉积炉的除焦油装置。

背景技术

化学气相沉积炉是利用化学气相沉积的原理，将参与化学反应的物质，加热到一定工艺温度，在真空泵抽气系统产生的引力作用下，引至沉积室进行反应、沉积，生成新的固态物质。气相沉积炉主要由炉本体（含炉底、下炉体、上炉体及隔热屏）、加热器、过滤系统、真空系统等组成。

气相沉积炉排气系统随着尾气在排气系统中流动，其温度逐渐降低；随着尾气的温度降低，除了尾气中难以液化的分子量很小的部分烃类以气体形式排出外，其余分子量较大的烃类尾气部分形成奶油状的焦油，容易附着在排气系统的管道、阀门、真空泵等器件内壁上，这样就会影响设备的正常使用；虽然定期更换过滤网能够去除部分焦油，但粘黏在管路上的焦油却难于清除，日积月累，管路孔径会越来越小从而影响抽排效果，一旦堵塞管路则会发生爆炸危险，拆卸管道清理费时费力，增加了维护成本。

因此，有必要设计一种用于化学沉积炉的除焦油装置来解决上述问题。

发明内容

为克服上述现有技术中的不足，本实用新型目的在于提供一种用于化学沉积炉的除焦油装置。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供的技术方案是：一种用于化学沉积炉的除焦油装置，包括装置本体，所述装置本体上端设置有废气入口，所述装置本体下端设置有废气出口，所述废气出口右侧设置有用于收集所述焦油的集油口，所述装置本体内水平设置有若干钢丝，所述钢丝上均布固定有若干毛刷球，所述钢丝上还设置有可左右移动的弧形板，所述弧形板的初始位置设置在所述毛刷球的左侧，所述弧形板中心设置有小孔，所述弧形板通过所述小孔串接在所述钢丝上，所述毛刷球为软弹性材料，所述弧形板开口向右设置，所述装置本体的左侧设置有若干回卷装置，所述弧形板左端通过回卷线与所述回卷装置连接，所述装置本体的右侧设置有拉板，所述弧形板右端通过拉线与所述拉板连接，所述拉板右侧设置有牵引线，所述牵引线与电机连接。

优选的技术方案为：所述弧形板的左端均设置有两条回卷线。

优选的技术方案为：所述弧形板的右端均设置有两条拉线。

优选的技术方案为：所述钢丝均转动设置在所述装置本体内。

优选的技术方案为：所述废气出口设置有过滤网。

优选的技术方案为：所述过滤网沿所述集油口一侧倾斜设置在所述废气出口的上端。

优选的技术方案为：所述牵引线设置有导向轮。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：

本实用新型相比传统的除焦油装置，可以减少焦油在内壁的附着，可以通过弧形板的左右移动将焦油撸下并集中处理，方便快捷；在废气出口设置倾斜的过滤网，不仅加强了焦油的过滤效果还使得过滤网上的焦油可以集中到集油口内；此装置既可以保证除焦效果，也使得焦油可以集中处理，避免管路堵塞，减少拆卸清理次数，降低成本，实用性强，适合推广。

附图说明

图1为本实用新型整体示意图。