[实用新型]一种新型的化学气相沉积炉

权利要求书

1.一种新型的化学气相沉积炉，其特征在于：它包含炉体(1)、进料管(2)、蒸发箱(3)、加热管(4)、集气罩(5)、通气孔(6)、导气管(7)、沉积室(8)、出气管(9)，炉体(1)内从下至上依次设置有蒸发箱(3)、集气罩(5)、沉积室(8)，炉体(1)的底部设置有进料管(2)，进料管(2)穿过炉体(1)的底部炉壁与蒸发箱(3)连通，蒸发箱(3)的顶部设置有加热管(4)，蒸发箱(3)的外部设置有集气罩(5)，蒸发箱(3)的箱壁上设置有数个通气孔(6)，蒸发箱(3)通过通气孔(6)与集气罩(5)连通，集气罩(5)的顶部通过导气管(7)与沉积室(8)连通，出气管(9)穿过炉体(1)的顶部炉壁与沉积室(8)连通。

2.根据权利要求1所述的一种新型的化学气相沉积炉，其特征在于：所述的炉体(1)、蒸发箱(3)、集气罩(5)、沉积室(8)的中心轴处于同一直线上。

3.根据权利要求1所述的一种新型的化学气相沉积炉，其特征在于：所述的炉体(1)的内壁上设置有保温层(10)。

4.根据权利要求1所述的一种新型的化学气相沉积炉，其特征在于：所述的沉积室(8)的底部设置有支撑板(11)，支撑板(11)上设置有通风通道(12)。

5.根据权利要求1所述的一种新型的化学气相沉积炉，其特征在于：所述的通气孔(6)上设置有过滤网(13)。