[实用新型]一种体电阻淬灭雪崩光电二极管阵列探测器

权利要求书

1.一种体电阻淬灭雪崩光电二极管阵列探测器，所述探测器的每个雪崩二极管器件单元从上至下依次包括阳极电极、减反射钝化层、N+区、P+雪崩结、P-外延层及体淬灭电阻区、P++衬底层和背面阴极电极；其特征在于，所述P-外延层底部，相邻的体淬灭电阻区之间设置有P+掩埋隔离区。

2.如权利要求1所述的体电阻淬灭雪崩光电二极管阵列探测器，其特征在于，所述 P+掩埋隔离区为通过直接注入实现的P+掩埋隔离区，或者先做一次P-外延，然后注入P+掩埋隔离区，再做第二次P-外延来实现的P+掩埋隔离区。