[实用新型]一种晶片抛光机

说明书

本实用新型公开了一种晶片抛光机，其技术方案要点是所述盘架包括圆盘和用于支撑圆盘的支杆，所述圆盘上设有导向架，所述旋转电机上设有穿过导向架进行打磨的磨盘，所述旋转电机上设有L形的固定件，固定件上设有导向孔，所述磨盘上设有穿过导向孔的导向杆，所述机体上还设有工件装夹台，所述工件装夹台底部设有导向套，导向套内设有连接杆，机体内设有推进气缸，所述推进气缸端部设有截面为直角三角形的三角块，所述三角块的斜面置于连接杆底部，所述导向套上还设有供三角块滑动的导孔，所述工件装夹台设有限位槽，所述机体上设有固定座，固定座上铰接有固定块，所述固定块卡于限位槽内，本实用新型目的在于提供一种便于微调调节高度且减少连接杆更换情况的晶片抛光机。

技术领域

本实用新型涉及一种晶片加工设备技术领域,更具体地说，它涉及一种晶片抛光机。

背景技术

现有技术中的晶片抛光机，大多采用将晶片固定在一个固定盘上，晶片表面凸出在固定盘盘面外，用打磨布对晶片的表面进行打磨。

目前，市场上均采用气缸直接控制旋转电机进行调节高度，虽然具备一定的良好的定位抛光，但是实际的时候，旋转电机一直悬挂在气缸，导致长时间的悬挂，容易出现气缸的推杆出现变长，其加工的高度差出现问题，容易影响加工，并且旋转电机的转动，容易出现震动而导致加工偏移，影响精准度。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种便于微调调节高度且减少连接杆更换情况的晶片抛光机。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种晶片抛光机，包括机体、置于机体上的支撑架、置于机体上的盘架和置于盘架上的旋转电机，以及置于支撑架上且控制旋转电机旋转的活动气缸，其特征是：所述盘架包括圆盘和用于支撑圆盘的支杆，所述圆盘上设有导向架，所述旋转电机上设有穿过导向架进行打磨的磨盘，所述电机上设有L形的固定件，固定件上设有导向孔，所述磨盘上设有穿过导向孔的导向杆，所述机体上还设有工件装夹台，所述工件装夹台底部设有导向套，导向套内设有连接杆，机体内设有推进气缸，所述推进气缸端部设有截面为直角三角形的三角块，所述三角块的斜面置于连接杆底部，所述导向套上还设有供三角块滑动的导孔，所述工件装夹台设有限位槽，所述机体上设有固定座，固定座上铰接有固定块，所述固定块卡于限位槽内。

通过采用上述技术方案，通过在旋转电机上设置L形的固定件，并且通过导向杆穿过导向孔进行限位，能够使得电机能够保证平稳的处于加工位置，再利用盘架的设置，盘架包括圆盘和用于支撑圆盘的支杆，所述圆盘上设有导向架，所述旋转电机上设有穿过导向架进行打磨的磨盘，利用导向架进行在周边防护，就算出现偏移的时候，也能够起到限位的效果，进而保证加工的精准性，所述工件装夹台底部设有导向套，导向套内设有连接杆，机体内设有推进气缸，所述推进气缸端部设有截面为直角三角形的三角块，所述三角块的斜面置于连接杆底部，所述导向套上还设有供三角块滑动的导孔，利用推进气缸的推动，使得连接杆向上移动，从而保证进行底部微调效果，能够提前做好下降的准备，减少更换的情况，所述工件装夹台设有限位槽，所述机体上设有固定座，固定座上铰接有固定块，所述固定块卡于限位槽内，起到了良好的固定，避免因为电机振动，而出现工件装夹台出现震动影响加工。

本实用新型进一步设置为：所述活动气缸与旋转电机之间设有调节机构，所述调节机构包括与活动气缸固定的第一连接定板、与旋转电机固定的第二连接定板、底板和导滑杆，第二连接定板置于底板和第一连接定板之间，底板上设有两个与第二连接定板抵触的调节螺栓。

通过采用上述技术方案，通过旋转调节螺栓，可以调节旋转电机的高度，进而保证了出现高度差的变换的时候，可以进行简单的微调工作，从而避免更换配件的情况出现。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图。

图2为本实用新型实施例的工件装夹台结构示意图。

具体实施方式