[实用新型]一种连续进出料式等离子清洗设备

说明书

本实用新型涉及一种连续进出料式等离子清洗设备，包括一台或多台等离子清洗机构，和对应设置在等离子清洗机构前后方的自锁式真空进料机和自锁式真空出料机，自锁式真空进料机对卷带构成进料真空封锁，自锁式真空出料机对卷带构成出料真空封锁，等离子清洗机构具有真空清洗仓，卷材在真空清洗仓内曲折前行，同时真空清洗仓内的电极辉发出等离子体对卷材表面清洗。能够实现卷材在真空条件下连续等离子清洗作业，真空度高，生产速度快。

技术领域

本实用新型涉及一种清洗设备，具体是涉及一种等离子清洗设备。

背景技术

等离子清洗机采用真空等离子体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染和对环境的影响。等离子清洗机外接一台真空泵，工作时清洗腔中的等离子体轻柔冲击被清洗物的表面，短时间的清洗就可以使有机污染物被彻底地清洗掉，同时污染物被真空泵抽出再冷凝收集，其清洗程度达到分子级。等离子清洗器除了具有超清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能，等离子体作用于材料表面，使表面分子的化学键发生重组，形成新的表面特性。对某些有特殊用途的材料，在清洗过程中等离子清洗器的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。等离子清洗器广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

传统等离子清洗是在密闭的真空室内完成，受真空室的限制，清洗对象的大小受到限制，只能进行对象单元逐批次清洗，而无法实现连续清洗。连续清洗的条件之一是要连续进料，而连续进料通道的存在必然无法保证清洗真空室的真空度；另外，连续清洗过程中材料是不断行走的，在真空室内的停留时间短，清洗效果无法保障。前面两个因素限制了等离子技术应用于卷材清洗。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种在线连续真空的等离子清洗设备，实现清洗对象的连续进出料清洗，提高清洗效率的同时并具有较好的清洗效果。

本实用新型解决上述问题所采用的技术方案为：一种连续进出料式等离子清洗设备，包括一台或多台等离子清洗机构，和对应设置在等离子清洗机构前后方的自锁式真空进料机和自锁式真空出料机，自锁式真空进料机对卷带构成进料真空封锁，自锁式真空出料机对卷带构成出料真空封锁，等离子清洗机构具有真空清洗仓，卷材在真空清洗仓内曲折前行，同时真空清洗仓内的电极辉发出等离子体对卷材表面清洗。

优选地，所述真空清洗仓内设置有若干转向辊，若干转向辊规律布置，卷材进入真空清洗仓内依次绕过转向辊在真空清洗仓内形成曲折的行程，从而增加卷材在真空清洗仓内的走料时间，提高卷材的清洗效果。

具体地，所述若干转向辊分成相对布置的两组，转向辊贴近真空清洗仓内壁，卷材在两组转向辊之间依次穿行，电极布置在卷材的行走间隙中，所述行走间隙是指因绕卷形成的相邻两段卷材之间的空隙。不仅有助于提高清洗效果，消除清理死角，而且能够对卷材的正反面均进行有效的清理。

所述真空清洗仓为横卧的圆筒形，对于真空室而言，设计成圆筒形能够提高真空室的强度，并减小设备生产材料。

为了便于等离子清洗机构之间以及与进料、出料设备之间连接良好，所述真空清洗仓两端设置有进料管和出料管，相邻等离子清洗机构之间通过进料管和出料管顺次连通。连通后在连接管内也相应的为真空状态

为了确保真空清洗仓内的真空度，减少真空度的波动，本申请对自锁式真空进料机和自锁式真空出料机的结构进行了设计，在等离子清洗机构两端进行真空封锁。结构如下