[实用新型]一种耐高温肖特基势垒二极管有效
| 申请号： | 201820853345.5 | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN208240691U | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 徐婷;董文俊;刘芬 | 申请（专利权）人： | 扬州国宇电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/872 | 分类号： | H01L29/872;H01L29/06 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 谈杰 |
| 地址： | 225000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属缓冲层 正面金属层 肖特基势垒二极管 本实用新型 金属势垒层 二极管 耐高温 背面金属层 反向漏电流 耐高温特性 势垒金属层 漏电通道 依次设置 应力减小 有效抑制 蒸发工艺 覆盖性 漏电流 外延层 下表面 致密性 衬底 发热 金属 | ||
【权利要求书】：
1.一种耐高温肖特基势垒二极管，包括由下至上依次设置的背面金属层、衬底、外延层、金属势垒层和正面金属层，其特征在于，所述金属势垒层和正面金属层间设置有金属缓冲层。
2.根据权利要求1所述的一种耐高温肖特基势垒二极管，其特征在于，所述金属缓冲层为三层金属复合结构，且三层金属复合结构包括上下两侧的第一金属粘结层以及内部的金属耐高温金属层。
3.根据权利要求2所述的一种耐高温肖特基势垒二极管，其特征在于，所述三层金属复合结构为Ti/WN/Ti或Ti/TiW/Ti。
4.根据权利要求1所述的一种耐高温肖特基势垒二极管，其特征在于，所述正面金属层为多层金属复合结构，且多层金属复合结构中与所述金属缓冲层接触的金属层为第二金属粘粘层。
5.根据权利要求4所述的一种耐高温肖特基势垒二极管，其特征在于，所述第二金属粘粘层为Ti金属层。
6.根据权利要求1所述的一种耐高温肖特基势垒二极管，其特征在于，所述金属势垒层为NiPt势垒层，且Pt含量为55％-65％。
7.根据权利要求1所述的一种耐高温肖特基势垒二极管，其特征在于，所述外延层主表面扩散有一圈保护环，且保护环环绕所述金属势垒层。
8.根据权利要求1所述的一种耐高温肖特基势垒二极管，其特征在于，所述外延层主表面还设有二氧化硅层，且二氧化硅层设置在所述金属势垒层外侧。
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