[实用新型]一种金属溅射系统中的阻隔式控制装置

权利要求书

1.一种金属溅射系统中的阻隔式控制装置，包括挡板单元(10)、棒状金属(60)、电源(20)、电源控制器(30)、频率计(40)和多个石英晶片(50)，其特征在于，

所述挡板单元(10)与所述电源(20)通过导线相连，所述电源(20)与所述频率计(40)分别通过导线与所述电源控制器(30)相连；

所述多个石英晶片(50)设置于同一条直线上，所述棒状金属(60)与所述多个石英晶片(50)的位置相对固定,且所述棒状金属(60)与所述石英晶片(50)互相平行；

所述挡板单元(10)设置在所述棒状金属(60)与所述石英晶片(50)之间；

所述频率计(40)用于获取所述石英晶片(50)的频率数据，并通过所述电源控制器(30)指示所述挡板单元(10)在所述棒状金属(60)与所述石英晶片(50)之间移动。

2.如权利要求1所述的金属溅射系统中的阻隔式控制装置，其特征在于，所述挡板单元(10)包括挡板主体、转轴、方向控制器和微型电机；

所述挡板主体与所述方向控制器通过转轴相连，所述方向控制器通过导线与所述微型电机相连，所述微型电机通过导线与所述电源(20)相连；

所述方向控制器可通过所述转轴变换所述挡板主体的角度来对所述挡板主体进行移动。

3.如权利要求2所述的金属溅射系统中的阻隔式控制装置，其特征在于，所述挡板主体的结构为网状结构。

4.如权利要求1所述的金属溅射系统中的阻隔式控制装置，其特征在于，所述棒状金属(60)的材质包括：银、铬、铁或铜。