[实用新型]一种四探针电阻率测试仪校准模块

说明书

本实用新型提供了一种四探针电阻率测试仪校准模块，包括一电压表以及一四探针电阻率测试仪、一七档电阻模块、一七档旋转开关以及一DB9接口公头；所述电压表和七档旋转开关均与所述七档电阻模块相连接；所述七档旋转开关和四探针电阻率测试仪均与所述DB9接口公头相连接。本实用新型的优点在于：降低了校准装置的成本，与标准样片相比，更易于保存、运输，更容易溯源到上一级标准，具有较好的溯源性。

技术领域

本实用新型涉及一种校准模块，特别指一种四探针电阻率测试仪校准模块。

背景技术

电阻率是半导体材料中一个很重要的性能指标，通过测量材料的电阻率可以得到材料的掺杂浓度等信息。硅片材料的电阻率是太阳电池光电性能的重要参考指标，是太阳电池反向击穿电压、反向漏流以及正向压降、最大输出电流等参数的重要影响因子。对于硅晶体生产单位和使用硅晶体制造器件的企业，电阻率是硅片检测过程中工作量最大的检测参数，是硅片贸易合同中必定出现的检测参数。因为它将直接影响到生产出来的器件性能，但采用以前抽检的方法测量电阻率已远远无法满足产量及品质要求。

目前，国内外通常采用的是直流四探针测试法，虽然各家电阻率测试厂家是参照标准进行设备的设计，但是测试结果仍然有差异，为了探讨电阻率测试结果存在差异的原因，急需开展对光伏用硅片电阻率量值溯源方法的研究。

经检索，如申请日为2012.09.28，申请号为201220500218.X的中国实用新型专利公开了一种检定四探针电阻率测试仪的装置，该装置包括四探针电阻率测试仪和标准电阻箱，通过四探针电阻率测试仪对标准电阻箱的测试来达到检定的目的。但是该装置存在有如下问题：1、无法确定流过标准电阻箱的实际电流；2、由于电阻的温漂，标准电阻箱的电阻示值和实际的阻值存在误差。又如申请日为2015.06.16，申请号为201520414518.X的中国实用新型专利公开了一种混凝土电阻率测定仪校准装置，该校准装置记载了档位开关的数量为8个，对应的校准电路的组数为8组，存在电路复杂的问题。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题，在于提供一种四探针电阻率测试仪校准模块，用来校准四探针电阻率测试仪的电气部分指标。

本实用新型是这样实现的：一种四探针电阻率测试仪校准模块，包括一电压表以及一四探针电阻率测试仪，所述校准模块还包括一七档电阻模块、一七档旋转开关以及一DB9接口公头；所述电压表和七档旋转开关均与所述七档电阻模块相连接；所述七档旋转开关和四探针电阻率测试仪均与所述DB9接口公头相连接。

进一步地，所述七档电阻模块包括一第一档电阻、一第二档电阻、一第三档电阻、一第四档电阻、一第五档电阻、一第六档电阻以及一第七档电阻；所述第一档电阻、第二档电阻、第三档电阻、第四档电阻、第五档电阻、第六档电阻以及第七档电阻均为四端电阻，每所述四端电阻均由至少2个电阻串并联组成；所述第一档电阻、第二档电阻、第三档电阻、第四档电阻、第五档电阻、第六档电阻以及第七档电阻的第四引脚均串联在一起。

进一步地，所述七档旋转开关的输入端通过旋转实现与所述第一档电阻、第二档电阻、第三档电阻、第四档电阻、第五档电阻、第六档电阻以及第七档电阻中的任意一个相连接；所述七档旋转开关的输出端与所述DB9接口公头连接。

进一步地，所述电压表为带采样功能的数字电压表。

进一步地，所述四探针电阻率测试仪设置有一DB9接口母头，所述DB9接口母头与所述DB9接口公头连接。

本实用新型的优点在于：

1、由于采用了所述分流器采样电阻模块，使得装置的体积减小、更易于保存和运输，降低了成本。

2、由于采用了所述分流器采样电阻模块，更容易溯源到上一级标准，具有较好的溯源性；

3、可用来校准四探针电阻率测试仪的电气部分指标，包括恒流源、电压测量能力、电阻测量能力指标。