[实用新型]一种微波和紫外线联合固化的装置

权利要求书

1.一种微波和紫外线联合固化的装置，包括设置有微波馈入装置的非均匀开缝同轴紫外激发装置，所述微波馈入装置包括微波源、环形器、耦合器、负载、波同转换装置，用于激发等离子体的缝隙同轴波导，光谱仪和用于监测微波激发紫外灯时的输入功率的功率计，还包括无极紫外灯，其特征在于：不均匀开缝结构的同轴波导，所述开缝是指三列缝隙间距不同、缝隙数量递减的竖直缝隙，所述紫外灯放置于缝隙同轴波导槽内。

2.根据权利要求1所述的一种微波和紫外线联合固化的装置，其特征在于：所述不均匀开缝结构的同轴波导的三列缝隙分别为三个开缝、两个开缝和一个开缝；所述开缝宽度为4mm—6mm。

3.所述无极紫外灯是一种基于抛物面反射的紫外灯装置，其前端为BJ-22矩形波导，中部过渡段为矩形喇叭，后端为加载抛物面的矩形腔体，腔体末端为短路面；其中抛物面中部开有用于微波耦合进入后端腔体的矩形窄缝。

4.根据权利要求1或2所述的一种微波和紫外线联合固化的装置，其特征在于：还包括微波源，所述微波源是指工业用磁控管微波源或半导体固态源。

5.根据权利要求3所述的一种微波和紫外线联合固化的装置，其特征在于：所述光谱仪置于无极紫外灯一侧，用于无极紫外灯的吸收光谱测量。

6.根据权利要求4所述的一种微波和紫外线联合固化的装置，其特征在于：还包括双定向耦合器，所述双定向耦合器设置于环形器与缝隙同轴波导之间，用于耦合检测微波激发紫外灯时的微波入射和微波反射功率。