[实用新型]基于介质阻挡放电的同轴多级NTP发生器

权利要求书

1.一种基于介质阻挡放电的同轴多级NTP发生器,其特征在于，包括壳体(18)、放电模块及套管；所述放电模块为石英管(6)外圈嵌套高压电极(5)，石英管(6)内圈相隔一段间隙处设有低压电极(8)，三者同轴放置；放电模块的一端通过隔板一(22)使石英管(6)与低压电极(8)之间的间隙形成一个空腔，为气体流道；放电模块的另一端的低压电极(8)直接连接壳体(1)，高压电极(5)与石英管(6)通过安装隔板(21)与壳体(18)相连；两个放电模块之间等距设置一组套管；

所述每一组套管有两层，距离中心轴近的为内层套管(17)，离中心轴远的为外层套管(16)，内层套管(17)与外层套管(16)的一端直接与壳体连接，另一端通过隔板二(23)将内层套管(17)与外层套管(16)之间连接，使内层套管(17)、外层套管(16)与隔板二(23)一侧之间形成一个空腔，为气体流道；隔板二(23)另一侧与放电模块的安装隔板(21)之间形成水冷通道。

2.根据权利要求1所述的一种基于介质阻挡放电的同轴多级NTP发生器，其特征在于，所述高压电极(5)外部涂覆硅胶。

3.根据权利要求1所述的一种基于介质阻挡放电的同轴多级NTP发生器，其特征在于，所述石英管(6)内圈与低压电极(8)之间的间隙距离为2mm。

4.根据权利要求1所述的一种基于介质阻挡放电的同轴多级NTP发生器，其特征在于，所述放电模块有3级，距离中心轴线等距分布，由中心轴线向外分别为第一级放电模块、第二级放电模块、第三极放电模块。

5.根据权利要求1所述的一种基于介质阻挡放电的同轴多级NTP发生器，其特征在于，所述放电模块中的高压电极通过导线连接外部电路，低压电极通过导线接地，放电模块级数越高，所施加的电压越低。

6.根据权利要求1所述的一种基于介质阻挡放电的同轴多级NTP发生器，其特征在于，所述套管有2组，分别等距嵌装在第一级放电模块与第二级放电模块之间、第二级放电模块与第三极放电模块之间。

7.根据权利要求4所述的一种基于介质阻挡放电的同轴多级NTP发生器，其特征在于，每一级放电模块的高压电极(5)与内层套管(17)之间以及低压电极(8)与外层套管(16)为冷却水通道，通过水冷通道形成完整的冷却水流道；每一组套管间的气体流道与每一级放电模块内的气体流道通过进气口(20)形成完整的反应气体流道。

8.根据权利要求7所述的一种基于介质阻挡放电的同轴多级NTP发生器，其特征在于，在气体流道以及冷却水流道的末端的壳体(18)上设置有排水部件(9)和排气部件(10)。

9.根据权利要求1或6所述的一种基于介质阻挡放电的同轴多级NTP发生器，其特征在于，所述壳体(18)、套管及隔板均为四氟乙烯材料。