[实用新型]一种驻波型双振子无阀压电泵

说明书

本实用新型公开了一种驻波型双振子无阀压电泵，泵包含两个预压力顶板、两个压电振子、两个硅橡胶层和基板，其中，两个硅橡胶层分别放置在基板的两侧；硅橡胶层的外侧分别放置两个压电振子；压电振子的外侧分别放置两个预压力顶板；螺栓将所述结构固定并对压电振子施加一定预压力。硅橡胶层和基板上有相互对应的若干缝隙，缝隙位置与两压电振子驻波的波峰和波谷位置对应。通过激励两个压电振子上的压电陶瓷片，使两个振子分别产生时间上有π/2相位差的驻波，从而使振子与硅橡胶层之间产生特定时序的容积变化和缝隙开、闭，压迫腔体内液体实现定向流动。

技术领域

本实用新型涉及压电作动器及压电泵领域，尤其涉及一种驻波型双振子无阀压电泵。

背景技术

近年来随着MEMS技术的发展，微型泵技术有着巨大的发展空间，而依靠逆压电效应压电泵又是最成熟、最易实现的微泵技术之一。以往大部分压电泵通过压电薄膜等压电原件的形变，实现腔体体积的变化进而实现压电泵的泵出，流体的流向通过进出口的单向阀或进出口的特定流道形状形成压差来实现。

但是使用单向阀的有阀压电泵由于阀的存在，不易实现小型化。另一方面，使用特定流道形状形成压差的常规无阀压电泵的背压又较小，性能不够好。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对背景技术中所涉及到的缺陷，提供一种驻波型双振子无阀压电泵。

本实用新型为解决上述技术问题采用以下技术方案：

一种驻波型双振子无阀压电泵，包含基板、第一至第二硅橡胶层、第一至第二压电振子、以及第一至第二预压力顶板；

所述基板为矩形片状结构，其四边均设有包板，使得所述基板的上侧形成没有上端面的长方体状腔体、下侧形成没有下端面的长方体状腔体；

所述第一、第二硅橡胶层均为矩形片状结构，其中，所述第一硅橡胶层的左侧的短边和两条长边上均设有向上且和第一硅橡胶层垂直的硅橡胶片，使得所述第一硅橡胶层的上侧形成一个上端面和右侧面开口的长方体状的腔体；所述第二硅橡胶层的右侧的短边和两条长边上均设有向下且和第二硅橡胶层垂直的硅橡胶片，使得所述第二硅橡胶层的下侧形成一个下端面和左侧面开口的长方体状的腔体；

所述第一硅橡胶层设置在所述基板的上端面上，其左侧短边和两条长边处均所述基板上端面的腔体过盈配合；所述第二硅橡胶层设置在所述基板的下端面上，其右侧短边和两条长边处均所述基板下端面的腔体过盈配合；

所述第一、第二压电振子均包含呈矩形的承载板和若干压电陶瓷片，其中，所述第一压电振子的承载板设置在所述第一硅橡胶层上侧的腔体中、其左侧的短边和两条长边分别和所述第一硅橡胶层上侧的腔体对应过盈配合，所述第一压电振子的若干压电陶瓷片设置在其承载板的上表面、用于激发其承载板的弯曲振动模态；所述第二压电振子的承载板设置在所述第二硅橡胶层下侧的腔体中、其右侧的短边和两条长边分别所述第二硅橡胶层下侧的腔体对应过盈配合，所述第二压电振子的若干压电陶瓷片设置在其承载板的下表面、用于激发其承载板的弯曲振动模态；

所述第一预压力顶板设置在所述第一压电振子上，其下端面设有若干用于压住所述第一压电振子承载板的长条状压块，所述第一预压力顶板的压块均设置在所述第一压电振子承载板上驻波的节线位置处；所述第一预压力顶板在其两侧均设有用于包住所述基板两条长边处包板的侧板，且第一预压力顶板两侧的侧板上都设有垂直于侧板朝外的固定板；

所述第二预压力顶板设置在所述第二压电振子下，其上端面设有若干用于压住所述第二压电振子承载板的长条状压块，所述第二预压力顶板的压块均设置在所述第二压电振子承载板上驻波的节线位置处；所述第一预压力顶板在其两侧均设有用于包住所述基板两条长边处包板的侧板，且第二预压力顶板两侧的侧板上都设有垂直于侧板朝外的固定板；

所述第一预压力顶板两侧侧板上的固定板分别和所述第二预压力顶板两侧侧板上的固定板对应固定相连；