[实用新型]一种基于LCOS技术的可视化曝光机

说明书

本实用新型公开了一种基于LCOS技术的可视化曝光机，包括曝光机光源、对准光源、45度二向光学元件、整形匀光元件、偏振分光元件（PBS）、LCOS、45度分光元件、投影系统、待曝光工件和相机。对准光源经45度二向光学元件反射，曝光机光源发出的光透过45度二向光学元件，经整形匀光元件的整形和匀光，p型偏振光通过PBS入射到高分辨率LCOS上，LCOS反射的光为s型偏振光，经PBS反射和45度分光元件进入投影系统再投射到待曝光工件。对准光源的光入射到待曝光工件，实现曝光精确定位，曝光机光源入射到待曝光工件的一部分光被待曝光工件反射，经投影系统后被45度分光元件反射到相机，可实时观测待曝光工件并实现对准及套刻。

技术领域

本实用新型涉及一种曝光机，尤其涉及一种基于LCOS技术的可视化曝光机。

背景技术

印制电路板（PCB）是连接、组装集成电路电子元件的基板，几乎所有的电子设备都离不开印制电路板。在大型电子产品研究过程中，印制电路板的设计和制作直接影响到整个产品的质量和成本。在PCB及微电子器件的制造设备中，曝光机的研制至关重要。

随着电子产业的快速发展，尤其是手机、平板电视、摄像机等家电领域产品以及微型机器人、微型飞行器、微型鱼雷等微型武器产品，都表明高精度高分辨率曝光机有着广泛的应用前景和巨大的应用潜力，但到目前为止，现有的曝光机还不能满足高分辨率的需求。

同时，传统掩膜式曝光机通过掩膜板上对准图形与待曝光工件上对准图形进行机械式对准，实现曝光图形与工件对准与套刻功能。但是由于掩膜板遮挡视场的原因，无法实现全视场对准与套刻功能。

发明内容

本实用新型要解决的问题是：

现有曝光机还不能满足高分辨率的需求问题。

而本实用新型采用一种基于LCOS技术的曝光机，LCOS即Liquid Crystal onSilicon硅基液晶，是一种反射元件，使入射p型偏振光转变成s型偏振光，通过控制LCOS上每个像素的开关形成所需图形，LCOS反射后的光线作为曝光图案的发生源， LCOS具有大于等于1920 x 1080的分辨率，目前优选4096 x 2400分辨率，基于LCOS技术的高分辨率曝光机，可以实现高分辨率高精度的无掩膜曝光，此曝光机具有重要的应用价值和经济意义，将大大推动我国电子产品行业的发展、提高我国在电子技术领域的竞争力。

另外为了解决现有曝光机无法实现全视场对准与套刻的问题。本实用新型提供一种基于LCOS技术的可视化曝光机，可实现全视场对准与套刻或部分视场对准与套刻。

本实用新型提供一种基于LCOS技术的可视化曝光机，包括曝光机光源（1）、对准光源（2）、45度二向光学元件（3）、整形匀光元件（4）、PBS（5）、LCOS（6）、45度分光元件（7）、投影系统（8）、待曝光工件（9）和相机（10）；