[实用新型]一种平面靶材溢铟保护工装有效
| 申请号： | 201820873991.8 | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN208612943U | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 何凌男 | 申请（专利权）人： | 苏州精美科光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C11/10;F16B11/00 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 明志会 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铜片层 平面靶材 锡纸层 保护工装 重复利用 金属铟 靶材 受力 压板 本实用新型 可拆卸方式 平面工作台 废料收集 受力均匀 贴合效果 不均匀 残余的 压弯 料槽 压块 压裂 铟层 传导 溢出 挤压 取出 | ||
1.一种平面靶材溢铟保护工装，其特征在于，包括：平面工作台（1）、框架（6）、压板（8）、第一锡纸层（2）、第二锡纸层（7）；所述框架（6）设置在平面工作台（1）上，所述第一锡纸层（2）设置在框架（6）内，且第一锡纸层（2）的上部边界均延伸至框架（6）上边框外部，所述第一锡纸层中部铺设在平面工作台（1）上表面，所述第一锡纸层（2）内放置平面靶材，其中，所述平面靶材包括硅片层（3）、铟层（4）、铜片层（5），所述平面靶材上铺设有压块（9），所述压块（9）与平面靶材之间设有第二锡纸层（7），所述第二锡纸层（7）边界均延伸至框架（6）上边沿外部。
2.根据权利要求1所述的一种平面靶材溢铟保护工装，其特征在于：所述框架（6）采用多块钢板拼接而成，并通过螺钉可拆卸固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种平面靶材溢铟保护工装，其特征在于：所述平面工作台（1）下端安装有若干支撑柱，支撑柱下端安装有万向轮。
4.根据权利要求1所述的一种平面靶材溢铟保护工装，其特征在于：所述压块（9）与第二锡纸层（7）之间设有压板（8），所述压板（8）尺寸与平面靶材的尺寸相近。
5.根据权利要求1所述的一种平面靶材溢铟保护工装，其特征在于：所述平面工作台（1）上设有料槽（11），所述料槽（11）安装在平面工作台（1）四周。
6.根据权利要求1所述的一种平面靶材溢铟保护工装，其特征在于：所述压块（9）可以设有若干个，且所述压块（9）在平面靶材上对称分布。
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