[实用新型]一种具有检测靶材的夹持装置

说明书

本实用新型公开了一种具有检测靶材的夹持装置，包括固定夹块、第二连接杆、限位槽和外丝，所述固定夹块的外壁中部设置有第一连接杆，且固定夹块的外侧安置有活动夹块，所述第二连接杆安装于活动夹块的外壁中部，且活动夹块的外侧固定有第二缓冲垫，所述活动夹块的外壁贯穿有螺栓，且活动夹块的底端固定有滑块，所述滑块的外侧设置有滑槽，所述固定夹块的底端安置有支撑板，且固定夹块的外侧安装有第一缓冲垫，所述支撑板的底部设置有支撑杆。该具有检测靶材的夹持装置设置有固定夹块，且固定夹块与活动夹块的形状相吻合，通过固定夹块与活动夹块的共同作用，能够对待检测靶材进行夹持操作，使得待检测靶材不易松动。

技术领域

本实用新型涉及检测靶材的夹持装置技术领域，具体为一种具有检测靶材的夹持装置。

背景技术

随着各个地区经济的飞速发展和科技的进步，真空溅射是由电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片，氩离子在电场的作用下加速轰击溅射基台上的靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶材原子(或分子)沉积在基片上成膜，而最终达到对基片表面镀膜的目的。

市场上的夹持装置在使用过程中，稳固性不强，容易滑动，给装置进行工作带来不便，并且夹持效果不佳，对待检测靶材容易造成形变现象，为此，我们提出一种具有检测靶材的夹持装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有检测靶材的夹持装置，以解决上述背景技术中提出的夹持装置在使用过程中，稳固性不强，容易滑动，给装置进行工作带来不便，并且夹持效果不佳，对待检测靶材容易造成形变现象的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有检测靶材的夹持装置，包括固定夹块、第二连接杆、限位槽和外丝，所述固定夹块的外壁中部设置有第一连接杆，且固定夹块的外侧安置有活动夹块，所述第二连接杆安装于活动夹块的外壁中部，且活动夹块的外侧固定有第二缓冲垫，所述活动夹块的外壁贯穿有螺栓，且活动夹块的底端固定有滑块，所述滑块的外侧设置有滑槽，所述固定夹块的底端安置有支撑板，且固定夹块的外侧安装有第一缓冲垫，所述支撑板的底部设置有支撑杆，且支撑杆的底端安置有防滑垫，所述限位槽设置于固定夹块的内侧，且固定夹块的内部安置有螺纹孔，所述外丝固定于螺栓的外壁，且外丝的外侧安置有内丝。

优选的，所述第一连接杆的长度大于第二连接杆的长度，且第一连接杆的截面宽度与第二连接杆的截面宽度。

优选的，所述活动夹块与固定夹块的形状相吻合，且活动夹块与固定夹块关于支撑板的中轴线对称。

优选的，所述活动夹块通过滑块、滑槽与支撑板构成滑动结构，且滑槽的长度为支撑板的长度的二分之一。

优选的，所述支撑杆的顶部与支撑板的底端呈垂直状连接，且支撑杆的截面高度为1.2m。

优选的，所述限位槽的内侧宽度与第一连接杆之间的距离相等，且第一连接杆等距设置有两根。