[实用新型]具有在Z轴方向上可微调的曝光平台有效

专利信息
申请号: 201820875733.3 申请日: 2018-06-07
公开(公告)号: CN208270943U 公开(公告)日: 2018-12-21
发明(设计)人: 杨明杰 申请(专利权)人: 深圳市盛德鑫智能科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 深圳市金笔知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44297 代理人: 胡清方;彭友华
地址: 518000 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 曝光灯 曝光平台 驱动构件 安装座 可微调 菲林 底座 本实用新型 快速对焦 微调机构 连接件 驱动 配合
【权利要求书】:

1.一种具有在Z轴方向上可微调的曝光平台,包括曝光灯(1)和菲林平台(2),所述菲林平台(2)位于曝光灯(1)的下方,其特征在于:在所述曝光灯(1)的一侧设有曝光灯Z向驱动机构(3),所述曝光灯Z向驱动机构(3)包括底座(31)、在所述底座(31)上设有安装座(32),在所述安装座(32)上设有用于Z向驱动曝光灯(1)的Z向驱动构件(33),所述Z向驱动构件(33)通过连接件(34)与曝光灯(1)连接。

2.根据权利要求1 所述的具有在Z轴方向上可微调的曝光平台,其特征在于:所述Z向驱动构件(33)包括电机(331)、丝杆和位于丝杆上的螺母(333),所述螺母(333)与所述连接件(34)连接。

3.根据权利要求1或2 所述的具有在Z轴方向上可微调的曝光平台,其特征在于:在所述菲林平台(2)的下面分别设有一个菲林Z向驱动机构(4),用于调节所述菲林平台(2)与所述曝光灯(1)的间距。

4.根据权利要求3 所述的具有在Z轴方向上可微调的曝光平台,其特征在于:所述菲林Z向驱动机构(4)包括丝杆螺母结构和电机,所述菲林平台(2)设在螺母上,并沿着导轨上下移动。

5.根据权利要求1或2 所述的具有在Z轴方向上可微调的曝光平台,其特征在于:在所述底座(31)下面设有用于驱动曝光灯(1)水平移动的水平移动驱动机构(5)。

6.根据权利要求5所述的具有在Z轴方向上可微调的曝光平台,其特征在于:所述水平移动驱动机构(5)包括水平移动电机(51),水平移动螺母丝杆结构,水平移动螺母丝杆结构的螺母与所述底座(31)连接。

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