[实用新型]蒸镀装置

说明书

本实用新型公开了一种能够在闭合了蒸发源挡板的情况下防止蒸镀材料从蒸发源挡板之间的间隙泄漏的蒸镀装置(1)。该蒸镀装置(1)具有蒸发源(3)和配置在所述蒸发源(3)上方的蒸发源遮挡组件(4)，所述蒸发源遮挡组件(4)包括至少两个挡板部件，至少一个挡板部件可在遮挡位置和开启位置之间运动，当处于遮挡位置时，所述至少两个挡板部件拼合成挡板，以便在所述蒸发源(3)和被蒸镀的基板(2)之间形成屏障；所述蒸镀装置(1)的特征在于，在拼合状态下互相邻近的至少一对挡板部件之间设置有遮蔽部(5)。

技术领域

本实用新型涉及一种蒸镀装置，具体涉及一种能够在闭合了蒸发源挡板的情况下防止蒸镀材料从蒸发源挡板之间的间隙泄漏的蒸镀装置。

背景技术

在利用蒸镀装置对被蒸镀构件进行蒸镀时，将位于蒸发源上方的蒸发源遮挡组件开启，露出下方的蒸发源，对蒸发源进行加热，使蒸发源中的蒸镀材料蒸发并附着到被蒸镀构件例如基板上。当位于蒸发源上方的基板的蒸镀结束后，闭合蒸发源遮挡组件，将结束了蒸镀的基板转移到其他位置。

蒸发源遮挡组件一般通过组合多个蒸发源挡板而构成，在蒸镀作业结束后，多个蒸发源挡板彼此部分重合地闭合而形成一个整体的蒸发源遮挡组件，遮挡蒸镀材料进入蒸镀区域。借此期间将结束了蒸镀的基板转移走。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能够在闭合了蒸发源挡板的情况下防止蒸镀材料从蒸发源挡板之间的间隙泄漏的蒸镀装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种蒸镀装置，具有蒸发源和配置在所述蒸发源上方的蒸发源遮挡组件，所述蒸发源遮挡组件包括至少两个挡板部件，至少一个挡板部件可在遮挡位置和开启位置之间运动，当处于遮挡位置时，所述至少两个挡板部件拼合成挡板，以便在所述蒸发源和被蒸镀的基板之间形成屏障；所述蒸镀装置的特征在于，在拼合状态下互相邻近的至少一对挡板部件之间设置有遮蔽部。

优选的是，所述至少两个挡板部件可在遮挡位置和开启位置之间运动。

优选的是，在所述至少一对挡板部件彼此之间有间隙，所述遮蔽部配置成填埋所述间隙。

优选的是，所述遮蔽部设置在所述至少一对挡板部件中的一个上。

优选的是，所述遮蔽部设置在相应的挡板部件的边缘位置处。

优选的是，在拼合状态下，所述至少一对挡板部件部分重叠而形成重叠区域，所述遮蔽部位于所述重叠区域中。

优选的是，所述遮蔽部的形状为带状。

优选的是，在至少一个挡板部件的周缘设置有凸肋，所述凸肋的凸起方向为背离所述蒸发源。

优选的是，所述蒸发源遮挡组件包括N个挡板部件，分别为第一挡板部件、第二挡板部件、……、第N挡板部件；其中，在拼合状态下，所述第一挡板部件、第二挡板部件、……、第N挡板部件顺次邻近，且所述第一挡板部件与所述第N挡板部件邻近；并且，所述第一挡板部件、第二挡板部件、……、第N挡板部件各自到所述蒸发源的距离依次变大，所述遮蔽部设置在所述第一挡板部件和所述第N挡板部件之间。

优选的是，除了所述第一挡板部件和所述第N挡板部件的互相邻近的部位外，其它的、挡板部件相互邻近的部位互相接触。

优选的是，所述遮蔽部的高度尺寸等于除所述第一挡板部件和所述第N挡板部件外的其余挡板部件的高度尺寸之和。

优选的是，所述N等于3。

优选的是，每个所述挡板部件可旋转地安装，并配置有枢转轴和枢转臂，所述挡板部件固定至所述枢转臂，所述枢转臂围绕所述枢转轴旋转。

优选的是，所述蒸发源遮挡组件包括两个挡板部件，所述两个挡板部件为大小不同的扇形，当处于开启位置时，两个挡板部件互相重叠。