[实用新型]移动式曝光平台有效
申请号: | 201820876423.3 | 申请日: | 2018-06-07 |
公开(公告)号: | CN208270944U | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 杨明杰 | 申请(专利权)人: | 深圳市盛德鑫智能科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳市金笔知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44297 | 代理人: | 胡清方;彭友华 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曝光灯 菲林 曝光平台 移动式 本实用新型 驱动 被曝光物 工作效率 平台移动 驱动机构 曝光机 移动 | ||
1.一种移动式曝光平台,包括曝光灯(1)和菲林平台(2),其特征在于:对应于同一个曝光灯(1)配有至少两个菲林平台(2);驱动机构(3),用于驱动曝光灯(1)相对于菲林平台(2)移动;或者驱动菲林平台(2)相对于曝光灯(1)移动。
2.根据权利要求1 所述的移动式曝光平台,其特征在于:所述菲林平台(2)是两个,呈行或列固定排布,驱动机构(3)为直线驱动机构(31),所述曝光灯(1)与所述直线驱动机构(31)的移动件固定连接,在驱动源的带动下,所述曝光灯(1)相对于所述菲林平台(2)移动。
3.根据权利要求2 所述的移动式曝光平台,其特征在于:在每个所述菲林平台(2)的下面分别设有一个菲林Z向驱动机构(4),用于调节所述菲林平台(2)与所述曝光灯(1)的间距。
4.根据权利要求3 所述的移动式曝光平台,其特征在于:所述菲林Z向驱动机构(4)包括丝杆螺母结构和电机,所述菲林平台(2)设在螺母上,并沿着导轨上下移动。
5.根据权利要求1 所述的移动式曝光平台,其特征在于:所述曝光灯(1)固定不动,所述菲林平台(2)是两个,呈行或列排布,驱动机构(3)为直线驱动机构(31),所述菲林平台(2)与所述直线驱动机构(31)的移动件固定连接,在驱动源的带动下,所述菲林平台(2)相对于所述曝光灯(1)移动。
6.根据权利要求5 所述的移动式曝光平台,其特征在于:在每个所述菲林平台(2)的下面分别设有一个菲林Z向驱动机构(4),用于调节所述菲林平台(2)与所述曝光灯(1)的间距。
7.根据权利要求6所述的移动式曝光平台,其特征在于:所述菲林Z向驱动机构(4)包括丝杆螺母结构和电机,所述菲林平台(2)设在螺母上,并沿着导轨上下移动。
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