[实用新型]一种音圈电机驱动的新型高精度力控平台

权利要求书

1.一种音圈电机驱动的新型高精度力控平台，其特征在于，包括：

固定板；

音圈电机，所述音圈电机包括音圈电机定子和音圈电机动子，所述音圈电机定子设置在所述固定板表面一侧的位置，所述音圈电机动子设置在所述音圈电机定子的一侧；

负载板，所述负载板与所述音圈电机动子固定连接，所述负载板位于在所述固定板表面的另一侧的位置；所述音圈电机动子用于带动所述负载板沿着所述固定板表面两端方向位移。

2.根据权利要求1所述的音圈电机驱动的新型高精度力控平台，其特征在于，还包括导轨副，所述导轨副包括滑块和滑轨，所述滑块与所述滑轨滑动连接，所述滑块一侧面与所述固定板固定连接，所述滑轨一侧面与所述负载板固定连接。

3.根据权利要求2所述的音圈电机驱动的新型高精度力控平台，其特征在于，所述导轨副分别设有两个，两个所述导轨副分别均匀设置在所述负载板的两侧相对应的位置上。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的音圈电机驱动的新型高精度力控平台，其特征在于，还包括光栅反馈装置，所述光栅反馈装置用于所述负载板的位移定位。

5.根据权利要求4所述的音圈电机驱动的新型高精度力控平台，其特征在于，所述光栅反馈装置包括光栅尺和光栅尺固定板，所述光栅尺固定架设置在所述固定板上，所述光栅尺设置在所述光栅尺固定架上。

6.根据权利要求1所述的音圈电机驱动的新型高精度力控平台，其特征在于，还包括限位装置，所述限位装置包括：限位阻挡片和限位感应器，所述限位阻挡片设置在所述负载板的一侧，所述限位感应器固定在所述固定板与所述限位阻挡片相对应的位置上。

7.根据权利要求6所述的音圈电机驱动的新型高精度力控平台，其特征在于，所述限位装置设为两个，两个所述限位装置分别设置在所述固定板表面两端的位置上，两个所述限位装置分别用于进行对所述负载板两端位移的限位。