[实用新型]一种超净高纯级氟化铵溶液制备装置

说明书

本实用新型属于电子化学品生产设备领域，具体涉及一种超净高纯级氟化铵溶液制备装置。目的是提供一种超净高纯级氟化铵溶液制备装置。采用的技术方案是：包括液氨储罐、第一水洗桶、第二水洗桶、反应容器、水浴槽、第三过滤器以及成品罐；还包括第一分子筛过滤器、第一过滤器、超纯水容器、氟化氢储气罐、第二分子筛过滤器、第二过滤器、混合罐；所述反应容器放置在水浴槽内。使用经净化后的氟化氢气体、氨气和超纯水混合的方式反应生成氟化铵，得到的氟化铵纯度更高、质量稳定。

技术领域

本实用新型属于电子化学品生产设备领域，具体涉及一种超净高纯级氟化铵溶液制备装置。

背景技术

超净高纯电子化学品是超大规模集成电路制造的关键性原料，其纯度、洁净度对成品率、电性能、可靠性等有十分重要的影响，因此电子化学品必须要达到SEMIC12要求。

现在有的技术方案大都采用工业级液氨和氟化氢溶液反应制得，具体为将液氨气化后，经过两级水洗，再将纯化水桶里的水和氢氟酸溶液一起混合反应，然经过混合罐混合后，过滤分装成成品。整过过程中仅对反应容器进行水冷，未控制氟化铵溶液的温度，氟化铵溶液受热后会进行分解，得到的溶液氟化铵溶解度不高。另外只对氨气进行两级水洗，得到的氨气的纯度不够高；同时直接使用氟化氢溶液，导致氟化氢溶液的净化度不可控，从而使生产出的氟化铵纯度不稳定，不能完全保证达到SEMIC12的要求。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种能达到SEMIC12的要求、质量稳定的超净高纯级氟化铵溶液制备装置。

为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种超净高纯级氟化铵溶液制备装置，包括液氨储罐、第一水洗桶、第二水洗桶、反应容器、水浴槽、第三过滤器以及成品罐；还包括第一分子筛过滤器、第一过滤器、超纯水容器、氟化氢储气罐、第二分子筛过滤器、第二过滤器、混合罐；所述液氨储罐出气口依次连接第一分子筛过滤器、第一过滤器以及第一水洗桶进口，所述第一水洗桶出口与第二水洗桶进口相连，所述第二水洗桶出口与反应容器进口相连；所述氟化氢储气罐出气口依次连接第二分子筛过滤器、第二过滤器以及反应容器进口，所述超纯水容器出口与反应容器进口相连；所述反应容器放置在水浴槽内，所述反应容器出口与混合罐进口相连，所述混合罐出口连接第三过滤器之后与成品罐进口相连。

优选的，所述第二过滤器与反应容器进口之间，依次连接有氟化钡溶液桶、氟化银溶液桶，所述第二过滤器与氟化钡溶液桶进口相连，所述氟化钡溶液桶出口与氟化银溶液桶进口相连，所述氟化银溶液桶出口与反应容器进口相连。

优选的，所述混合罐与第三过滤器之间连接有冷却罐，所述冷却罐放置在恒温水箱内。

优选的，所述恒温水箱的温度控制在20～35℃范围内。

本实用新型的有益技术效果是：液氨气化为氨气后，不仅经过了两次水洗，还在水洗之前增加了分子筛过滤器和过滤器，使氨气中的金属和非金属杂质去除更彻底，得到超净高纯的氨气。将氟化氢气体经过分子筛过滤器和过滤器过滤掉金属和非金属等气体固体颗粒杂质，然后再经过氟化钡溶液和氟化银溶液将气体中的S、P、As、B、Cl、Si等离子去除。使用经净化后的氟化氢气体、氨气和超纯水混合的方式反应生成氟化铵，得到的氟化铵纯度更高、质量稳定。同时在分装前，经过充分的搅拌后恒温冷却，使氟化钠溶液在合理的温度下保存，以保证氟化铵的溶解度，提高制作效率和经济效益。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式