[实用新型]一种用弹性膜片作浮动夹持机构的装置

说明书

本实用新型公开了一种用弹性膜片作浮动夹持机构的装置，包括与主轴键连接的夹具头体，所述夹具头体远离所述主轴的一侧具有支撑体固定槽，所述支撑体固定槽内设有支撑体，所述支撑体上设有球面压垫，所述球面压垫包括球面部和连接部，所述球面部与所述连接部固定连接，所述球面部设置在所述支撑体内，所述支撑体与所述连接部之间设有弹性膜片，所述连接部远离所述主轴的一侧设有封盖，所述封盖与所述连接部固定连接，所述封盖上设有多个夹紧螺钉，且多个所述夹紧螺钉围绕所述主轴的轴线均匀排列。本实用新型在所述夹紧螺钉接触硅棒端面过程中，可使所述夹紧螺钉的端面与硅棒端面全部接触上，提高了磨削过程中硅棒的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及一种夹持机构，具体地说是一种用弹性膜片作浮动夹持机构的装置。

背景技术

目前，在硅棒磨削的过程中使用夹持机构对硅棒进行夹持，而硅棒端面9'不垂直(如图1所示)，现有的夹持机构为刚性夹持(如图2所示)并不能完全适应倾斜的硅棒端面9'，并且现有的夹持机构存在定位精度差，传递扭矩小等缺点，导致在磨削过程中容易出现打滑现象，现有的夹持机构并不能牢牢的夹紧。

实用新型内容

根据上述提出的技术问题，而提供一种用弹性膜片作浮动夹持机构的装置。本实用新型采用的技术手段如下：

一种用弹性膜片作浮动夹持机构的装置，包括与主轴键连接的夹具头体，所述夹具头体远离所述主轴的一侧具有支撑体固定槽，所述支撑体固定槽内设有与所述支撑体固定槽相匹配的支撑体，所述支撑体内设有固定螺栓Ⅰ，所述固定螺栓Ⅰ穿过所述夹具头体与所述主轴固定连接，且所述固定螺栓Ⅰ的轴线与所述主轴的轴线重合，所述支撑体通过多个固定螺栓Ⅱ与所述支撑体固定槽固定连接；

所述支撑体远离所述主轴的一侧设有球面压垫，所述球面压垫包括球面部和连接部，所述球面部与所述连接部固定连接，所述支撑体上设有与所述球面部相匹配的球面凹槽，所述球面部设置在所述球面凹槽内，所述球面凹槽所在球的球心位于所述主轴的轴线上，所述连接部与所述支撑体固定槽相匹配；

所述支撑体与所述连接部之间设有弹性膜片，所述弹性膜片的轴线与所述主轴的轴线重合，所述弹性膜片通过多根固定螺栓Ⅲ与所述支撑体固定连接，多根所述固定螺栓Ⅲ围绕所述主轴的轴线均匀排列，所述连接部上设有与所述固定螺栓Ⅲ的头部相匹配的螺栓头部容腔Ⅰ，所述弹性膜片通过多根固定螺栓Ⅳ与所述连接部固定连接，多根所述固定螺栓Ⅳ围绕所述主轴的轴线均匀排列且所述固定螺栓Ⅳ设置在相临两个所述固定螺栓Ⅲ之间，所述支撑体上设有与所述固定螺栓Ⅳ的头部相匹配的螺栓头部容腔Ⅱ；

所述连接部远离所述主轴的一侧设有封盖，所述封盖的轴线与所述主轴的轴线重合，且所述封盖与所述连接部固定连接，所述封盖上设有多个夹紧螺钉，且多个所述夹紧螺钉围绕所述主轴的轴线均匀排列。

所述固定螺栓Ⅰ的螺栓头部与所述夹具头体之间设有弹簧垫圈。

所述连接部的外沿与所述夹具头体的外沿通过密封圈连接。

所述支撑体固定槽的槽底到所述支撑体固定槽的槽口的距离小于所述支撑体固定槽的槽底到所述封盖的距离。

本实用新型在所述夹紧螺钉接触硅棒端面过程中，所述球面压垫在所述支撑体内通过所述球面部做相应的浮动，可使所述夹紧螺钉的端面与硅棒端面全部接触上，并通过弹性膜片的设置在硅棒端面传递一定的扭矩，提高了磨削过程中硅棒的稳定性。

基于上述理由本实用新型可在硅棒夹持等领域广泛推广。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是硅棒端面示意图。