[实用新型]一种用于硅片表面冲洗的水刀

说明书

一种用于硅片表面冲洗的水刀，包括刀身、设于刀身内的多个刀孔和蓄水高压装置，所述的刀孔上方与蓄水高压装置贯通连接，多个刀孔之间间隔等距设置，刀孔下端为长扁形开口的出水口，所述的设于刀身内的刀孔为曲线向下延伸的通水孔，所述的蓄水高压装置内的水升压后经水管被泵入刀孔内，升压后的水自向下延伸的通水孔喷出后在出水口下方形成扇形喷射流。相较于现有使用较多带直孔槽的水刀，本实用新型采用曲线向下延伸的通水孔，使原本直接从直孔槽喷出的柱形喷射流变成扇形喷射流，不仅增大单个水刀刀孔清洗覆盖面积，且喷射流冲洗水压大，冲洗效果好，同时减少直孔槽中的纯水使用量，减少纯水的浪费，降低水刀使用成本。

技术领域

本实用新型涉及一种用于硅片表面冲洗的水刀，特别是一种应用于制绒技术中硅片表面冲洗的水刀。

背景技术

水刀是现代工业加工中使用较为广泛的加工刀具，因其噪音少，节能环保，对环境污染少的优点在越来越多的加工中发挥不可替代的作用。在硅片制绒技术中，聚晶制绒机、刻蚀机的酸碱槽内的药液反应后，需要清洗硅片表面残留的药液，在风刀后面还需使用两到三把上下对称水刀，用于清洁硅片表面，使得硅片表面PH值成中性，而现有的水刀为单排直孔，水刀的大小受外围水压影响较大，整体水压小时，水刀喷水量低，硅片容易出现清洗不干净的问题，另外，单排直孔水刀用水量比较大，对纯水制水量有较大要求，对公司用水成本影响比较大，另一方面，由于现有的水刀为直孔径，经常有碎硅片进入水刀内，碎硅片在水刀内因水压的作用下会流向水刀喷水口，当碎片比水刀喷水口大时会直接堵死水刀喷水口，造成无水喷出，同时碎硅片也极容易卡在水刀里，设备人员处理这类水刀被堵喷不出水的问题较频繁，严重影响日常生产效率，给生产带来诸多麻烦。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种结构简单合理、表面清洗效果好、可多次覆盖清洗的用于硅片表面冲洗的水刀。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：一种用于硅片表面冲洗的水刀，包括刀身、设于刀身内的多个刀孔和蓄水高压装置，所述的刀孔上方与蓄水高压装置贯通连接，多个刀孔之间间隔等距设置，刀孔下端为长扁形开口的出水口，所述的设于刀身内的刀孔为曲线向下延伸的通水孔，所述的蓄水高压装置内的水升压后经水管被泵入刀孔内，升压后的水自向下延伸的通水孔喷出后在出水口下方形成扇形喷射流。

进一步的，所述的设于刀身内的刀孔为向下延伸的螺旋孔。

进一步的，所述的出水口为由口沿向外张开的喇叭口，所述的刀身上设有一排或多排刀孔。

进一步的，所述的多个刀孔喷出的扇形喷射流之间交错覆盖的对硅片表面的冲洗。

实用新型的有益效果是：相较于现有使用较多带直孔槽的水刀，本实用新型采用曲线向下延伸的通水孔，使原本直接从直孔槽喷出的柱形喷射流变成扇形喷射流，不仅增大单个水刀刀孔清洗覆盖面积，且喷射流冲洗水压大，冲洗效果好，同时减少直孔槽中的纯水使用量，减少纯水的浪费，降低水刀使用成本，另外，曲线向下延伸的通水孔的设计使得水刀外部的碎硅片或颗粒难以从水刀进入水刀内部，避免水刀出水口被堵的现象，进而降低维护人员的维修维护次数和维护成本，提升整体水刀处理的处理效率，提升整体生产的生产效率。

附图说明

图1是一种用于硅片表面冲洗的水刀的整体结构示意图。

附图中编号表示的零部件名称如下：1、刀身；2、刀孔；3、蓄水高压装置；5、出水口。

具体实施方式

为了使得本实用新型实现的技术手段，创新特征与功能易于了解，下面将进一步阐述本实用新型。