[实用新型]一种接触式曝光用防粘铬版有效
| 申请号： | 201820900218.6 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN208207511U | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 崔子龙;俎阿敏;刘威;吴德生 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 邓义华;廖苑滨 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铬版 二氧化硅 复合薄膜 光刻胶 含氟聚合物 接触式曝光 接触曝光 氟硅烷 防粘 分离现象 生产效率 下表面 质量差 粘附 变形 曝光 污染 | ||
1.一种接触式曝光用防粘铬版，其特征在于，所述接触式曝光用防粘铬版包括：玻璃承载板、金属铬层、防粘贴层，玻璃承载板位于铬版的最上表面，所述防粘贴层设置在铬版的最下表面，所述防粘贴层为二氧化硅—含氟聚合物复合薄膜或者二氧化硅—氟硅烷复合薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种接触式曝光用防粘铬版，其特征在于，所述玻璃承载板的材质为石英玻璃、苏打玻璃或者低膨胀玻璃。
3.根据权利要求1所述的一种接触式曝光用防粘铬版，其特征在于，所述接触式曝光用防粘铬版由上至下依次设置：玻璃承载板、金属铬层、第一氧化铬层、防粘贴层。
4.根据权利要求3所述的一种接触式曝光用防粘铬版，其特征在于，在玻璃承载板和金属各层之间还设置第二氧化铬层或第二氮化铬层。
5.根据权利要求1所述的一种接触式曝光用防粘铬版，其特征在于，所述接触式曝光用防粘铬版由上至下依次设置：玻璃承载板、金属铬层、第一氮化铬层、防粘贴层。
6.根据权利要求5所述的一种接触式曝光用防粘铬版，其特征在于，在玻璃承载板和金属各层之间还设置第二氧化铬层或第二氮化铬层。
7.根据权利要求1-6中任一项权利要求所述的一种接触式曝光用防粘铬版，其特征在于，所述防粘贴层通过溶胶—凝胶法或者喷涂法或者蒸镀法或者溅镀法制备得到。
8.根据权利要求1-6中任一项权利要求所述的一种接触式曝光用防粘铬版，其特征在于，所述防粘贴层的厚度为50-150nm。
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