[实用新型]电极蒸镀装置

说明书

本实用新型涉及材料制备技术领域，特别是涉及一种电极蒸镀装置，包括：支撑台、第一限位件、掩膜架、第一弹性件和第二限位件。第一限位件固定于支撑台的一侧，掩膜架滑设于第一限位件；第一弹性件设置于第一限位件和掩膜架之间；第二限位件滑设于支撑台；利用传样抓手将样品安装到支撑台，传样抓手对第二限位件施加外力，第二限位件在外力的作用下，将掩膜架朝远离支撑台的方向推动。当外力撤除时，第一弹性件将掩膜架向支撑台的方向推动，以使掩膜与样品接触。本实用新型的电极蒸镀装置，不需要利用单独的操作杆来操作掩膜架，而是在完成样品传送的同时实现样品与掩膜的接触。从而便于检测人员操作，简化了操作的步骤，降低了操作的难度。

技术领域

本实用新型涉及材料制备技术领域，特别是涉及一种电极蒸镀装置。

背景技术

传统的电极蒸镀装置，包括样品托插座、第一限位框、第二限位框和磁力棒，以及支撑结构。所述样品托插座、所述第一限位框和所述第二限位框设置于所述支撑结构的表面。所述样品托插座用于固定样品，且具有相对两个凸棒，定义相互垂直的X方向和Y方向，该两个凸棒的连线平行于X方向。所述第一限位框具有相对的两个第一开口，所述第二限位框具有相对的两个第二开口，该第二限位框和第一限位框依次套设在所述样品托插座上，且凸棒依次穿过第二开口和第一开口。所述支撑结构包括支撑台，所述第一开口具有与所述支撑台的表面成角度的斜面，该斜面的延长线与所述支撑台的表面形成钝角。所述第二开口具有相对的两个与支撑台的表面垂直的侧面，该第二开口用于使所述样品托插座上下移动。磁力棒位于第一限位框的外侧，且该磁力棒沿Y方向延伸。当安装样品的时候，沿着Y方向推动磁力棒，从而使得所述样品托插座由于第一开口中斜面和第二开口的限位而向上移动。当撤回该磁力棒，使磁力棒远离第一限位框时，样品托插座在重力的作用下向下移动。即所述样品托插座在重力作用下向掩膜的位置靠近，以使样品与掩膜接触。

但是，传统的电极蒸镀装置，在实验人员将样品托与样品托插座连接的同时，还需要操作磁力棒，增加了实验人员的操作步骤以及操作难度。

实用新型内容

基于此，有必要针对传统的电极蒸镀装置增加了实验人员的操作步骤以及操作难度的问题，提供一种操作简便的电极蒸镀装置。

一种电极蒸镀装置，包括：支撑台，用于固定支撑带有样品的样品托；

第一限位件,固定于所述支撑台的一侧；

掩膜架，滑设于所述第一限位件，所述掩膜架用于装载掩膜；

第一弹性件，设置于所述第一限位件和所述掩膜架之间，所述第一弹性件利用自身的弹性恢复力将所述掩膜架朝靠近所述支撑台的方向推动；以及

第二限位件，滑设于所述支撑台，所述第二限位件与所述第一限位件分别位于所述支撑台的两侧；

利用传样抓手对所述第二限位件施加外力，所述第二限位件在所述外力的作用下，将所述掩膜架朝远离所述支撑台的方向推动；当所述外力撤除时，所述第一弹性件将所述掩膜架向所述支撑台的方向推动，以使所述掩膜与所述样品接触。

在其中一个实施例中，所述第一限位件包括第一限位杆，所述第一限位杆的一端固定于所述支撑台；

所述掩膜架设置有用于供所述第一限位杆穿过的第一限位孔；

所述第一弹性件为螺旋弹簧，所述第一弹性件套设于所述第一限位杆，所述第一弹性件的一端与所述第一限位杆远离所述支撑台的一端连接，所述第一弹性件的另一端与所述掩膜架抵接。

在其中一个实施例中，所述第一限位件还包括第一限位凸起，所述第一限位凸起连接于所述第一限位杆远离所述支撑台的一端；所述第一弹性件的一端与所述掩膜架抵接，所述第一弹性件的另一端与所述第一限位凸起抵接。

在其中一个实施例中，所述第一限位杆为多个，多个所述第一限位杆均匀布置于所述支撑台。