[实用新型]一种滚筒密封内部陶瓷结构

说明书

本实用新型公开了一种滚筒密封内部陶瓷结构,包括滚筒密封装置本体，在滚筒密封装置本体上设有密封腔体基座、中间气氛密封腔体、气氛腔体A、气氛腔体B、转轴连接支架块、入料口、薄钢夹持辊A、薄钢夹持辊B、气缸、电机转轴固定环、皮带轮、转轴驱动电机、加热管、保温内胆、入料口、点冷极、密封圈、传送辊，在滚筒密封装置本体上安装有三个不同的气氛腔体，三个不同的起风腔体的内部的温度各自的温度不同，而且每个气室之间密封相互隔离，不同的气密室内部为薄钢带提供不同的温度环境，本实用新型设计合理，在一个装置上能够同时提供几个不同的温度反应槽，使薄钢带在不同的退火环境下产生不同的效果。

技术领域

本实用新型涉及钢带退火炉气氛保护技术领域，具体为一种滚筒密封内部陶瓷结构。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火是一种将材料置于高温一段时间后，再慢慢冷却的热处理过程，但是目前的一种退火炉只能提供一种温度的退火腔体。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种在一个装置上能够同时提供几个不同的温度反应槽，使薄钢带在不同的退火环境下产生不同的效果的一种滚筒密封内部陶瓷结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种滚筒密封内部陶瓷结构,包括滚筒密封装置本体，所述滚筒密封装置本体的底部设有密封腔体基座，所述密封腔体基座上的中间设有中间气氛密封腔体，所述中间气氛密封腔体的左侧设有气氛腔体A，中间气氛密封腔体的右侧设有气氛腔体B，所述中间气氛密封腔体的前面设有入料口，所述入料口的两侧设有薄钢夹持辊支架块，入料口两侧的薄钢夹持辊支架块之间设有薄钢夹持辊A、薄钢夹持辊B，所述薄钢夹持辊支架块的外部设有薄钢夹持辊固定环。

优选的，所述气氛腔体A的内部设有保温内胆，所述保温内胆的上方与下方设有加热管，气氛腔体A内侧顶部加热管之间设有电冷极，所述气氛腔体A的右侧中间设有入料口。

优选的，所述气氛腔体B的内部设有保温内胆，所述保温内胆的上方与下方设有加热管，气氛腔体B内侧顶部加热管之间设有电冷极，所述气氛腔体B的左侧中间设有入料口。

优选的，还包括转轴驱动电机，所述转轴驱动电机的上方设有缸，所述转轴驱动电机的一端设有皮带轮。

优选的，所述密封腔体基座的内部设有传送辊。

优选的，所述入料口的开口四周设有密封圈。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）本实用新型结构简单，在滚筒密封装置本体上安装有三个不同的气氛腔体，三个不同的气氛腔体的内部的温度各自的温度不同，而且每个气室之间密封相互隔离，不同的气密室内部为薄钢带提供不同的温度环境；

（2）本实用新型设计合理，在一个装置上能够同时提供几个不同的温度反应槽，使薄钢带在不同的退火环境下产生不同的效果。

附图说明

图1为本实用新型滚筒密封装置本体结构示意图；

图2为本实用新型气氛腔体A结构示意图；

图3为本实用新型气氛腔体B结构示意图；

图4为本实用新型密封腔体基座内部平面示意图。

具体实施方式