[实用新型]原位置检测装置

说明书

本实用新型涉及一种原位置检测装置，包括：测量头、驱动机构以及检测腔体；检测腔体上设置有第一光学观察孔，测量头上设置有第二光学观察孔；检测腔体上开设有用于供测量头通过的开口；检测腔体上还设置有屏蔽门，驱动机构与屏蔽门连接，用于驱动屏蔽门相对于检测腔体移动，以敞开或者覆盖开口，而打开或者关闭检测腔体。将本实用新型的原位置检测装置安装在超真空检测系统中，给检测人员提供了一种在光学观察方法下将样品与探针对准并检测样品各项电学性能的检测平台，无需再将样品从超高真空的检测环境中取出，极大的减少了检测人员的操作步骤，提高检测效率。且保证样品在检测过程中始终处于真空环境，实现了对样品表面性质的保护。

技术领域

本实用新型涉及超高真空检测技术领域，特别是涉及一种原位置检测装置。

背景技术

超高真空可以对样品实现良好的保护。而在超高真空实验中，不同的测量环境(如不同温度区间、磁场大小等)一般由不同的手段产生和维持，且在物理上处在不同的空间位置。而在实验过程中，通过常需要将单一样品在不同的环境下进行检测。

在检测的过程中，实验人员要保证样品和探针对准，而随着样品在不同的检测环境中移动，由于受限于观察条件等因素的影响，新的探针无法再次对准样品的指定位置。所以，在样品移动至不同的检测环境时，需要检测人员通过光学观察方法实现探针与样品上的电极对准后采集数据。

但是，在超高真空检测中，某些检测环境是无法运用光学观察方法的，例如在杜瓦内就无法实现光学观察方法。因此，检测人员需要将样品从超高真空环境中取出，在某个可以进行光学观察的位置，将探针和样品上的电极对准并进行预测量，然后再将预测量后的探针和样品结合后，以测量探头的形式传送到杜瓦内的指定位置。故而，操作比较繁琐，检测效率低。

实用新型内容

基于此，有必要针对操作比较繁琐，检测效率低的问题，提供一种检测效率高的原位置检测装置。

上述目的通过以下技术方案实现：

一种原位置检测装置，包括：检测腔体，用于设置在超高真空系统原样品运输线；所述检测腔体上设置有第一光学观察孔；所述检测腔体上还设置有屏蔽门；

测量头，能够与所述检测腔体连接；所述测量头上设置有与所述第一光学观察孔位置相匹配的第二光学观察孔；所述检测腔体上开设有用于供所述测量头通过的开口；

驱动机构，所述驱动机构与所述屏蔽门连接，用于驱动所述屏蔽门相对于所述检测腔体移动，以敞开或者覆盖所述开口，而打开或者关闭所述检测腔体。

在其中一个实施例中，所述驱动机构包括第一动力器和第一传动结构，所述第一动力器与所述第一传动结构连接，所述第一传动结构与所述屏蔽门传动连接。

在其中一个实施例中，所述开口从所述检测腔体的端部延伸至所述检测腔体的侧壁；所述屏蔽门呈L形，且所述屏蔽门的一条边与所述检测腔体的侧壁转动连接。

在其中一个实施例中，所述第一传动结构包括第一主动齿轮和第一从动齿轮；所述屏蔽门设置有门轴，所述门轴与所述检测腔体转动连接；所述第一从动齿轮套设在所述门轴外；

所述第一动力器为第一磁力转手，所述第一磁力转手通过第一长杆与所述第一主动齿轮连接；所述第一主动齿轮与所述第一从动齿轮啮合。

在其中一个实施例中，所述第一长杆通过第一万向节与所述第一主动齿轮连接。

在其中一个实施例中，原位置检测装置还包括：安装底座；所述检测腔体设置在所述安装底座上，所述检测腔体的底面上设置有通孔；

所述安装底座上，位于所述检测腔体的通孔下方设置有锁紧机构，所述测量头上设置有与所述锁紧机构相配合的干涉结构；所述锁紧机构与所述干涉结构配合以将所述测量头固定在所述检测腔体内。