[实用新型]开方机切割室的防护装置及开方机切割室

说明书

本申请公开了一种开方机切割室的防护装置及开方机切割室，防护装置包括：滑动轨道，安装于开方机切割室顶部下沿的圆周；位于滑块链首部的第一驱动滑块和位于滑块链尾部的第二驱动滑块，在滑动轨道上滑动；滑块链为由第一驱动滑块、第二驱动滑块和多个拖动滑块串接而成，滑块链的下方悬吊防护罩，防护罩包裹在开方机切割室的外面，以防护开方机切割室泄漏的砂浆；多个拖动滑块，在第一驱动滑块或第二驱动滑块的带动下，在滑动轨道上滑动；功率传感器，与第一驱动滑块、第二驱动滑块连接，以检测开方机切割室的电机运行功率。本申请实现了自动控制防护罩包裹在开方机切割室的外面，以防护开方机切割室泄漏的砂浆的目的。

技术领域

本申请涉及多晶硅制造领域，尤其涉及一种开方机切割室的防护装置及开方机切割室。

背景技术

硅锭的开方是多晶硅锭成型后需要进行的第一道工序，需要将大型多晶硅锭切割成小型长方体。硅块的加工通常需要部署一个切割室来进行，由于硅块加工需要辅以砂浆，机器就需要配置一个防护门帘来实现切割室的防护工作。

目前，多晶硅切割室的门帘采用的是气帘，即在切割室壁上，切入多个与内壁表面的夹角尽可能小的条形通气口，该条形通气口可以是横向或纵向的，由切割室外部通入不含硅气体(例如，氩气等惰性气体)后，该不含硅气体通过多个条形通气口进入切割室内部后，就形成一个覆盖于反应腔体内壁并与内壁表面相切的气帘，该气帘可以阻挡切割室内含硅气体在切割室内壁上沉积硅。

需要说明的是，上述内容属于发明人的技术认知范畴，并不必然构成现有技术。

实用新型内容

为了解决上述问题，本申请提出了一种开方机切割室的防护装置，所述防护装置包括：滑动轨道，安装于开方机切割室顶部下沿的圆周；第一驱动滑块和第二驱动滑块，在所述滑动轨道上滑动，其中，所述第一驱动滑块位于滑块链的首部，所述第二驱动滑块位于滑块链的尾部；所述滑块链为由所述第一驱动滑块、所述第二驱动滑块和多个拖动滑块串接而成，所述滑块链的下方悬吊防护罩，所述防护罩包裹在所述开方机切割室的外面，以防护所述开方机切割室泄漏的砂浆；所述多个拖动滑块，在所述第一驱动滑块或所述第二驱动滑块的带动下，在所述滑动轨道上滑动；功率传感器，与所述第一驱动滑块、所述第二驱动滑块连接，以检测所述开方机切割室的电机运行功率；其中，所述第一驱动滑块或所述第二驱动滑块在通过所述功率传感器检测到所述开方机切割室的电机处于运行状态的情况下，带动所述多个拖动滑块在所述滑动轨道上滑动。

在一个示例中，所述滑动轨道上设置有固定挡板，其中，所述第一驱动滑动或所述第二驱动滑块滑动到所述固定挡板停止滑动。

在一个示例中，所述固定挡板为可拆卸挡板，通过螺栓和螺母配合作用，可固定在所述滑动轨道的任意位置上。

在一个示例中，所述第一驱动滑块内置第一电机，通过所述第一电机驱动所述第一驱动滑块的滑轮运动；所述第二驱动滑块内置第二电机，通过所述第二电机驱动所述第一驱动滑块的滑轮运动。

在一个示例中，所述第一电机和所述第二电机通过所述开方机切割室内开方机的电源供电。

在一个示例中，所述防护罩通过设置在所述滑块链上每个滑块下方的吊环悬吊在所述滑块链下方。

在一个示例中，所述防护装置上设置有控制开关，通过所述控制开关控制所述第一驱动滑块或所述第二驱动滑块链滑动。

在一个示例中，所述滑块链的长度小于所述开方机切割室的圆周长，其中，通过所述第一驱动滑块带动所述滑块链从第一位置移动到第二位置，以将所述防护罩遮挡在所述开方机切割室的门上；通过所述第二驱动滑块带动所述滑块链从所述第一位置移动到所述第二位置，以将所述防护罩从所述开方机切割室的门上移开。

在一个示例中，所述防护罩为塑料门帘。

另一方面，本申请还提出了一种开方机切割室，包括：上述任意一项所述的开方机切割室的防护装置。