[实用新型]用于有机发光二极管显示器的制造设备

说明书

本创作公开了一种用于有机发光二极管显示器的制造设备，有机发光二极管显示器通过蒸镀制程及黄光微影制程形成，其包括蒸镀流水线及黄光微影流水线，蒸镀流水线包括多个第一传输装置、多个线状蒸镀装置、多个第一点状蒸镀装置、至少一个第一电浆清洁装置，多个线状蒸镀装置、多个第一点状蒸镀装置及至少一个第一电浆清洁装置分别连接对应的第一传输装置；黄光微影流水线至少包括多个第二传输装置、光阻涂布装置、曝光装置、显影装置及湿式剥膜装置，光阻涂布装置、曝光装置、显影装置及湿式剥膜装置分别连接对应的第二传输装置。本创作的设备整合蒸镀流水线及黄光微影流水线，以提升制造效率，本创作的制造设备能制造一般有机发光二极管显示器。

技术领域

本创作涉及显示器领域，尤其涉及一种用于有机发光二极管显示器的制造设备。

背景技术

目前有机发光二极管显示器包括玻璃基板、阳极层、空穴传输层、红色有机发光层、绿色有机发光层、蓝色有机发光层、电子传输层及阴极层。阳极层、空穴传输层、红色有机发光层、绿色有机发光层、蓝色有机发光层、电子传输层及阴极层均通过蒸镀方式形成，尤其有机发光二极管显示器的画素结构通过金属掩模进行有机物蒸镀方式来达到高精细化。

现在为了提升有机发光二极管的画质、解析度及精细度，改良有机发光二极管显示器的画素结构的图案化方式，因此研发出一种通过黄光微影制程进行图案化，所以目前用于制造有机发光二极管显示器的制造设备已经不适用。

实用新型内容

本创作实施例提供一种用于有机发光二极管显示器的制造设备，以解决目前有机发光二极管显示器的制造设备无法用于制造由蒸镀制程及黄光微影制程形成的有机发光二极管显示器的问题。

为了解决上述技术问题，本创作是这样实现的：

提供了一种用于有机发光二极管显示器的制造设备，有机发光二极管显示器通过蒸镀制程及黄光微影制程形成，其包括蒸镀流水线及黄光微影流水线，蒸镀流水线包括多个第一传输装置、多个线状蒸镀装置、多个第一点状蒸镀装置、至少一个第一电浆清洁装置，多个线状蒸镀装置、多个第一点状蒸镀装置及至少一个第一电浆清洁装置分别连接对应的第一传输装置；黄光微影流水线至少包括多个第二传输装置、光阻涂布装置、曝光装置、显影装置及湿式剥膜装置，光阻涂布装置、曝光装置、显影装置及湿式剥膜装置分别连接对应的第二传输装置。

在本创作实施例中，整合蒸镀流水线及黄光微影流水线制造由蒸镀制程及黄光微影制程形成的有机发光二极管显示器，有效提升制造效率，同时提升有机发光二极管显示器的画质、解析度及精细度。

本创作所采用的具体技术，将通过以下的实施例及附呈图式作进一步的说明。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本创作的进一步理解，构成本创作的一部分，本创作的示意性实施例及其说明用于解释本创作，并不构成对本创作的不当限定。在附图中：

图1是本创作第一实施例的制造设备的示意图。

图2是本创作第一实施例的有机发光二极管显示器的示意图。

图3是本创作第二实施例的蒸镀流水线的示意图。

图4是本创作第三实施例的蒸镀流水线的示意图。

图5是本创作第四实施例的黄光微影流水线的示意图。

图6是本创作第五实施例的黄光微影流水线的示意图。

图7是本创作第六实施例的黄光微影流水线的示意图。

图8是本创作第七实施例的黄光微影流水线的示意图。

图9是本创作第八实施例的黄光微影流水线的示意图。

图10是本创作第九实施例的黄光微影流水线的示意图。