[实用新型]柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备有效
申请号: | 201820922878.4 | 申请日: | 2018-06-14 |
公开(公告)号: | CN208336251U | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 任宇航;罗明新;王培双;平益峰 | 申请(专利权)人: | 浙江尚越新能源开发有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/032 |
代理公司: | 杭州华知专利事务所(普通合伙) 33235 | 代理人: | 张德宝 |
地址: | 311100 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性太阳能电池 铜铟镓硒 制造设备 本实用新型 工艺环境 机械泵组 加热单位 实时控制 温度在线 自动纠正 抽真空 卷对卷 扩散泵 线性源 监控 加热 保证 | ||
本实用新型公开了一种柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备。该柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备实时对机械从动进行监控,卷对卷速度张力自动纠正,线性源加热单位分开保护,加热温度在线监控,实时控制,同时可通过扩散泵和机械泵组逐级抽真空,保证工艺环境的稳定性。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备。
背景技术
随着全球气候变暖、生态环境恶化和常规能源的短缺,太阳能已成为各国可持续发展的重要战略决策。太阳能电池就是一种将太阳能转化成电能的装置,具备超过电能、风能等资源的能源,而有希望成为未来电力行业的重要支柱。太阳能电池主要分为硅太阳能电池、化合物半导体薄膜电池、有机聚合物电池、有机薄膜电池等。其中,铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池属于半导体薄膜电池,由于铜铟镓硒具备直接带隙结构,并且具有较高的吸收系数,膜层只需达到微米级就可全部吸收能力大于铜铟镓硒薄膜带宽度的入射光,因此铜铟镓硒薄膜太阳能电池可节省大量的原料,并且受稀有元素价格提升和原料短缺的影响相对较小,具有光吸收能力强,放电稳定性好、转化效率高等优点,因而具有广阔的市场前景。
柔性太阳能电池上铜铟镓硒薄膜制造,现有技术是在卷对卷共蒸的高温下制造,使用三步共蒸法时,无法对线性源的分区保护及实时监控,无法保证高温下传动稳定性,无法对张力,传动的实时监控和自动纠正,每个单独源的线性排列没有分区保护及在线监控,使用共蒸时,腔体充满金属蒸汽的同时无法保证整个环境的真空。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型设计了一种柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备。
本实用新型采用如下技术方案:
一种柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备,包括腔体和控制器,控制器连接电脑,腔体包括上腔体和下腔体,上腔体和下腔体压合密闭,上腔体内转动连接有放卷辊、收卷辊和若干传动辊,放卷辊和收卷辊末端固定连接私服电机,放卷辊和收卷辊间若干传动辊连成输送通道,下腔体内对应输送通道分别设置有多个线性源盒,输送通道的中间位置和末端分别对应设置有XRF检测装置,输送通道上位于线性源盒对应位置分别设置有温度传感器,每个线性源盒上端开口,每个线性源盒内设置有线性源,每个线性源底部设置有加热器,腔体内连通有真空系统,控制器通过导线连通私服电机、XRF检测装置、温度传感器、加热器和真空系统。
作为优选,所述真空系统包括扩散泵和机械泵组,扩散泵和机械泵组通过导线连通控制器。
作为优选,所述扩散泵与腔体间设置有高压阀门。
作为优选,所述输送通道末端设置有机械从动的检测器,机械从动的检测器包括传动辊末端固定设置的半圆形固定块、探针、信号发送器和信号接收器,探针固定连通高频电源,探针末端搭接半圆形固定块,信号接收器连通半圆形固定块,信号接收器通过导线连通控制器。随着传动辊的转动,探针间断的接触半圆形固定块,控制器通过信号接收器接受的信号频率来监控从动传动辊是否正常频率转动。
作为优选,所述输送通道前端设置有速度传感器和张力传感器,速度传感器和张力传感器通过导线连通控制器。通过速度传感器和张力传感器的数据监测,控制器反馈调节放卷辊和收卷辊私服电机的转动速度,从而自动纠正调节张力。
作为优选,所述腔体内每个线性源盒处设置有离子规,离子规通过导线连通控制器。
与现有技术相比,该柔性太阳能电池铜铟镓硒制造设备的有益效果是:
1、伺服器控制电机机械传动的同时,利用速度传感器和张力传感器,对速度和张力进行在线监控和实时反馈,使用双闭环控制系统实时对卷对卷张力和速度进行调节,增加伺服器控制的稳定性;
2、添加了机械从动的检测器,实时机械从动在线监控,利用高低电平的变化,检测传动的持续性,做到了对密闭环境的多样化监控,并且对卷对卷的张力和纠偏能自动纠正,做到了整个高温机械传动的稳定性;
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