[实用新型]用于硅片单面制绒的分片装置

权利要求书

1.一种用于硅片单面制绒的分片装置，其特征在于，所述分片装置包括箱体、设于箱体中间的送料导轨和出料导轨、设于箱体上的第一吸合模组和第二吸合模组，所述出料导轨位于送料导轨的下方，第一吸合模组和第二吸合模组分别安装于送料导轨两侧的箱体上。

2.根据权利要求1所述的用于硅片单面制绒的分片装置，其特征在于，所述箱体包括分离设置的第一箱体和第二箱体，送料导轨和出料导轨位于第一箱体和第二箱体之间，所述第一吸合模组和第二吸合模组分别安装于第一箱体和第二箱体上。

3.根据权利要求1所述的用于硅片单面制绒的分片装置，其特征在于，所述第一吸合模组包括用于吸合硅片的第一吸合单元、及控制第一吸合单元沿垂直于送料导轨的第一方向运动的第一传动单元；所述第二吸合模组包括用于吸合硅片的第二吸合单元、及控制第二吸合单元沿垂直于送料导轨的第一方向和平行于送料导轨的第二方向运动的第二传动单元。

4.根据权利要求3所述的用于硅片单面制绒的分片装置，其特征在于，所述第一传动单元包括沿第一方向固定安装于箱体上的第一导轨、滑动安装于第一导轨上的第一滑动件，所述第一吸合单元固定安装于第一滑动件上。

5.根据权利要求3所述的用于硅片单面制绒的分片装置，其特征在于，所述第二传动单元包括沿第二方向固定安装于箱体上的第二导轨、滑动安装于第二导轨上的第二滑动件，所述第二滑动件沿第二方向分布，第二滑动件上沿第一方向滑动安装有第三滑动件，所述第二吸合单元固定安装于第三滑动件上。

6.根据权利要求3所述的用于硅片单面制绒的分片装置，其特征在于，所述第一吸合单元包括若干平行设置的第一吸合片，所述第一吸合片的一侧表面上设有若干用于吸附硅片的第一吸气口。

7.根据权利要求6所述的用于硅片单面制绒的分片装置，其特征在于，所述第二吸合单元包括若干平行设置的第二吸合片，所述第二吸合片的一侧表面上设有若干用于吸附硅片的第二吸气口，所述第一吸气口在第一吸合片的一侧与第二吸气口于第二吸合片的一侧相背设置。

8.根据权利要求4所述的用于硅片单面制绒的分片装置，其特征在于，所述第一传动单元还包括用于驱动第一滑动件沿第一方向运动的第一伺服电机。

9.根据权利要求5所述的用于硅片单面制绒的分片装置，其特征在于，所述第二传动单元还包括用于驱动第二滑动件沿第一方向运动的第二伺服电机、以及用于驱动第三滑动件沿第二方向运动的第三伺服电机。

10.根据权利要求1所述的用于硅片单面制绒的分片装置，其特征在于，所述第一吸合模组包括用于吸合硅片的第一吸合单元、及控制第一吸合单元沿垂直于送料导轨的第一方向运动的第一传动单元；所述第二吸合模组包括用于吸合硅片的第二吸合单元、及控制第二吸合单元沿垂直于送料导轨的第一方向运动的第二传动单元。